[发明专利]紫外光学仪器分辨率测试仪无效
| 申请号： | 200810050938.9 | 申请日： | 2008-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN101308059A | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王淑荣;王加朋;李福田 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 | 代理人： | 赵炳仁 |
| 地址： | 130033吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外 光学仪器 分辨率 测试仪 | ||
1.一种紫外光学仪器分辨率测试仪，包括氘灯光源(1)、机械可变光阑(2)、石英聚光镜(3)、由入射狭缝组机构(4)和准直反射镜(5)、与波长驱动机构(18)相连接的闪耀光栅(6)、成像反射镜(8)、平面反射镜(9)、出射狭缝(10)构成的紫外单色仪、紫外漫透射器(11)、紫外分辨率板(12)、二维调节平台(13)、转折平面反射镜(14)、非球面准直镜(15)、光学导轨(16)、待测光学仪器平台(17)、图像采集系统(19)和计算机(20)，其特征在于，所述的氘灯光源(1)通过机械可变光阑(2)、石英聚光镜(3)按1∶1比例成像于所述的紫外单色仪的入射狭缝组机构(4)上，由紫外单色仪出射狭缝(10)处发射出的紫外光均匀照射在紫外漫透射器(11)上，紫外漫透射器(11)和紫外分辨率板(12)通过卡具压紧在一起，固定在二维调节平台(13)之上，并将二维调节平台(13)置于出射狭缝(10)之后，经过紫外漫透射器(11)的漫透过作用，紫外分辨率板(12)局部被均匀照明，紫外分辨率板(12)经过转折平面反射镜(14)和非球面准直镜(15)形成无限远紫外分辨目标；待测光学仪器平台(17)置于光学导轨(16)上，光学导轨(16)轴线与平行光路的光轴重合；所述的波长驱动机构(18)和图像采集系统(19)分别与计算机(20)控制连接。
2.根据权利要求1所述的紫外光学仪器分辨率测试仪，其特征在于，在所述的石英聚光镜(3)和紫外单色仪的入射狭缝组机构(4)之间、准直反射镜(5)和成像反射镜(8)之间、闪耀光栅(6)和平面反射镜(9)之间、平面反射镜(9)和出射狭缝(10)之间均分别设置一消杂光陷阱(7)。
3.根据权利要求1所述的紫外光学仪器分辨率测试仪，其特征在于，所述的紫外单色仪中的准直反射镜(5)、成像反射镜(8)、平面反射镜(9)和转折平面反射镜(14)、非球面准直镜(15)表面均镀有紫外反射率大于85％的Al+MgF2反射膜。
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