[发明专利]三氯氢硅的生产方法及其设备

权利要求书

1、一种三氯氢硅的生产方法，其特征在于：包括如下步骤：

A、氯化氢处理：氯化氢气体处理采用循环吸收剂吸收氯化氢气体中的水分，再通过氯化氢压缩机加压至0.1～0.6Mpa(G)，然后送去三氯氢硅大型流化床反应器；

B、硅粉烘干和推料：对于在烘粉炉经热氮气烘干后的硅粉，用加热至150～200℃的氮气输送到三氯氢硅大型流化床反应器底部；

C、合成反应：在流化床反应器内，硅粉和氯化氢进行气固相反应，生成三氯氢硅和四氯化硅混合物，反应热由导热油移出送余热锅炉副产蒸汽后并入蒸汽管网或直接用于部分用热设备。

D、除尘、冷凝：反应器经旋风分离器和硅尘过滤器除尘，将其中残存的硅尘回收，再送入合成气加压冷凝系统，冷凝下来的氯硅烷混合物送至单体径流装置进行分离；

E、精馏分离：将经上述处理后冷凝下来的氯硅烷混合物输入精馏装置，在0.1～0.6Mpa(G)压力下精馏分离，得到纯度≥99.0％的三氯氢硅和纯度≥98.0％的四氯化硅；

F、尾气回收：未被冷凝的合成尾气送合成尾气回收系统回收利用。

2、根据权利要求1所述三氯氢硅的生产方法，其特征在于：所述步骤C中温度为250～350℃和压力0.1～0.6Mpa(G)。

3、一种实施如权利要求1所述三氯氢硅生产方法的设备三氯氢硅大型流化床反应器，包括下部的反应段(1)和上部的扩大段(2)，反应段(1)的下部设有硅粉进料口(13)，反应器上下两端分别设有上封头(4)和下封头(6)，下封头(6)上设有原料气进口(5)和排渣口(12)，扩大段(2)上设有合成气出口(9)，其特征在于：所述反应器内部设有由设置在扩大段(2)简体内上端的导热油分配箱(18)，与导热油分配箱(18)连接且均匀分布的导热油指形套管束(19)，以及对导热油指形套管束(19)进行弹性固定的箍管盘(20)组成的换热结构；所述扩大段(2)上设有测温口(10)、反应段(1)上设有测压口(11)，导热油分配箱(18)上设有指形套管导热油进口(16)，扩大段(2)上方的上封头(4)上设有指形套管导热油出口(17)；所述下封头(6)下端连接一段椎体(3)，下封头(6)与椎体(3)之间设有气体分布板(8)；所述流化床床体外壁设有半管或夹套(7)、半管或夹套导热油进口(14)及半管或夹套导热油出口(15)；所述箍管盘(20)分别设置在导热油指形套管束(19)的上、中下段；所述下封头(6)与气体分布板(8)之间、气体分布板(8)与椎体(3)之间、椎体(3)与反应段(1)之间、反应段(1)与扩大段(2)之间以及扩大段(2)与导热油分配箱(18)之间、导热油分配箱(18)与上封头(4)之间分别设有法兰。