[发明专利]集成静电放电器件有效

专利信息
申请号: 200810040570.8 申请日: 2008-07-15
公开(公告)号: CN101630683A 公开(公告)日: 2010-01-20
发明(设计)人: 刘志纲;俞大立;李全 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L27/04 分类号: H01L27/04;H01L21/8249
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 李 丽
地址: 201210*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 集成 静电 放电 器件
【权利要求书】:

1.一种半导体器件,所述器件包括:

半导体衬底,包括表面区域,所述半导体衬底具有第一导电类型;

阱区,位于所述半导体衬底内,所述阱区具有第二导电类型,所述阱区还具有第一厚度;

第一轻掺杂漏极区,位于所述阱区内,所述第一轻掺杂漏极区具有第一导电类型,所述第一轻掺杂漏极区具有第二厚度;

发射极区,位于所述第一轻掺杂漏极区内,所述发射极区具有第二导电类型;

漏极区,位于所述第一轻掺杂漏极区内,所述漏极区具有第一导电类型;

第二轻掺杂漏极区,具有第一导电类型且位于所述阱区内,所述第二轻掺杂漏极区与所述第一轻掺杂漏极区之间由沟道区分开;

源极区,位于第所述二轻掺杂漏极区内,所述源极区具有第一导电类型;

栅电介质层,覆盖于所述表面区上;

栅极层,覆盖于所述栅电介质层上;以及

输出端子,耦合至所述漏极区和发射极区上;

其中,所述第一轻掺杂漏极区、阱区以及衬底与第一双极晶体管相关联,所述第一双极晶体管具有第一触发电压;

其中,所述发射极区、第一轻掺杂漏极区以及阱区与第二双极晶体管相关联,所述第二双极晶体管具有第二触发电压。

2.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述半导体衬底为硅基半导体衬底。

3.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述第一导电类型为P型、第二导电类型为N型。

4.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述第一导电类型为N型、第二导电类型为P型。 

5.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述第一厚度为3μm。

6.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述第二厚度为0.5-1.5μm。

7.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述第二厚度为第一厚度的一半。

8.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,选择所述第一厚度和第二厚度以使第一触发电压和第二触发电压低于预定电压。

9.根据权利要求8所述的半导体器件,其特征在于,所述预定电压低于30V。

10.根据权利要求8所述的半导体器件,其特征在于,所述预定电压为10V。

11.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述第二轻掺杂漏极区具有第三厚度,所述第三厚度小于第二厚度。

12.一种半导体器件,所述器件包括:

半导体衬底,所述半导体衬底具有第一导电类型;

阱区,形成于半导体衬底内,所述阱区具有第二导电类型,所述阱区具有第一厚度;

MOS晶体管,所述MOS晶体管包括位于阱区内的第一轻掺杂漏极区以及位于阱区内的第二轻掺杂漏极区,所述MOS晶体管还包括漏极、沟道和源极,所述漏极位于所述第一轻掺杂漏极区内、且所述源极位于所述第二轻掺杂漏极区内;

发射极区,位于第一轻掺杂漏极区内,所述发射极区具有第二导电类型,所述第一轻掺杂漏极区具有第二厚度;

第一双极晶体管,所述第一双极晶体管包括发射极区、第一轻掺杂漏极区以及阱区,所述第一双极晶体管具有第一触发电压;以及 

第二双极晶体管,所述第二双极晶体管包括第一轻掺杂漏极区、阱区以及衬底,所述第二双极晶体管具有第二触发电压。

13.根据权利要求12所述的半导体器件,其特征在于,所述半导体衬底为含硅衬底。

14.根据权利要求12所述的半导体器件,其特征在于,所述第一导电类型为P型、第二导电类型为N型。

15.根据权利要求12所述的半导体器件,其特征在于,所述第一轻掺杂漏极区的厚度约为所述阱区厚度的一半。

16.根据权利要求12所述的半导体器件,其特征在于,选择所述第一厚度和第二厚度以使第一触发电压和第二触发电压低于预定电压。

17.根据权利要求16所述的半导体器件,其特征在于,所述预定电压低于30V。

18.根据权利要求16所述的半导体器件,其特征在于,所述预定电压为10V。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810040570.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top