[发明专利]SnO2复杂三维纳米结构及其制备方法

权利要求书

1.一种SnO₂复杂三维纳米结构，其特征在于：这种SnO₂复杂三维纳米结构是采用热蒸发方法，在设计构筑的反应微腔中合成得到的；是SnO₂一维纳米棒沿不同的三维方向多次改变取向生长方向，扭转、弯折形成多个拐点，进而构成复杂的三维结构，纳米棒的直径为300-700nm。

2.如权利要求1所述的SnO₂复杂三维纳米结构的制备方法，具体工艺如下：

1)把粗铁栅格切成1cm×2cm的小片，把细铁栅格切成3cm×5cm的大片，然后在酒精中超声清洗干净；将硅片切成1cm×2cm的小片，依次经过稀盐酸、酒精、丙酮和去离子水超声清洗干净；

2)将水平放置的管式生长炉以15℃/min的速率加热到850-950℃；

3)将SnO₂粉和石墨粉按质量比1∶1均匀混合后作为反应源放到一个石英舟里，把一片粗铁栅格片盖在源的上面，将一片硅片放在粗铁栅格片上方1-2mm的位置，作为衬底来收集反应生成物；将一片细铁栅格片整个覆盖住源和衬底，并在细铁栅格片铺放上一层源料；

4)把石英舟放到预先加热好的水平管式气氛炉的中部；

5)通入流量为0.3L/min-1L/min的N₂气作为载气，在一个标准大气压强下反应30-120min；

6)取出石英舟，在硅片衬底上面长有一层白色的绒毛状物质为SnO2三维纳米结构。

3.根据权利要求2所述的SnO₂复杂三维纳米结构的制备方法，其特征在于：所述的粗铁栅格为20目；所述的细铁栅格为300目。

4.根据权利要求2所述的SnO₂复杂三维纳米结构的制备方法，其特征在于：所述的SnO₂粉和石墨粉的纯度为99.99％。

5.根据权利要求2所述的SnO₂复杂三维纳米结构的制备方法，其特征在于：工艺步骤2中提到的管式生长炉，其石英管的直径为8cm，长度为110cm。