[发明专利]氟代聚对二甲苯的涂敷方法及涂敷专用设备

说明书

技术领域

本发明涉及氟代聚对二甲苯的涂敷方法及涂敷专用设备，尤其是采用气相沉积涂敷方法，以及用于该涂敷方法的设备。

背景技术

根据调查显示和现状研究分析可知，目前我国很多古籍图书和期刊文献等重要资料已经处于较为严重的老化状态，如果不及时采取保护措施将会造成不可弥补的损失。现今社会人们为了能够长久完好的保存重要的文字图书等资料，都选择经过保护处理后的图书文献资料。目前最常用的文字图书资料保护措施主要有缩微、脱酸加固和丝网加固等方法，但是这些方法均有不足之处，比如说脱酸加固成本太高，丝网加固工作量大，保存时间不长。随着技术的进步，涂敷工艺技术逐渐用于图书资料的保护这一领域。

聚对二甲苯(结构I)是常用的涂敷材料，它是一种很好的介电材料，有高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数，它穿透能力高，并对于水份和其他腐蚀性气体具有极低的渗透性，但是它对硬件涂敷设备要求比较高。相对于聚对二甲苯来说，氟取代的聚对二甲苯就有更加高效的性能优势。如：结构II：二氟代聚对二甲苯，结构III：四氟代聚对二甲苯，结构IV：八氟聚对二甲苯。结构分别为：

发明内容

针对已有技术存在的不足，本发明的目的之一在于提供一种氟代聚对二甲苯的涂敷方法；

本发明的另一目的在于提供一种氟代聚对二甲苯涂敷专用设备。

本发明目的通过下述技术方案实现：氟代聚对二甲苯的涂敷方法依序包括以下步骤：

将氟代聚对二甲苯原料气化、裂解成活性单体，被涂敷材料在真空度40-60Pa和250-350℃条件活性单体聚合沉积形成涂敷层。

为保证涂敷的均匀性，被涂敷材料采用旋转涂敷。

涂敷厚度为2-12μm，涂敷速率为2μm/小时左右。

针对上述步骤，本发明可具体采用下述步骤：

1、将氟代聚对二甲苯原料盛装在气化裂解室的气化舟内；

2、将需涂敷的资料夹装在聚合沉积室的展开支架上，垫上密封圈，合上真空钟罩，其中，支架与传动电机轴连接；

3、打开节流阀，开启真空机械泵，对系统抽真空，当系统真空度达到25Pa以下；将气化裂解室升温，在温度达到100℃时，用氮气吹气化裂解室底部5-10分钟，当温度到250-350℃，打开冷阱，使冷阱温度达到-50℃以下，加热过程中调节节流阀抽真空的速率，使聚合沉积室真空度保持在40-60Pa，同时启动传动电机，使支架开始旋转，旋转速度控制在每分钟5-15转；

4、气化裂解室中的氟代聚对二甲苯首先气化，然后裂解成为活性单体，通过气体分流器进入聚合沉积室，在涂敷材料表面沉淀，通过气体分流器使聚合沉积室内气体分布均匀，并让氟代聚对二甲苯涂敷在转动的需涂敷材料的表面；

5、通过真空钟罩上的观察窗监控，保证涂敷质量；

6、根据每批涂敷厚度要求控制气化裂解室温度在250-350℃之间，涂敷时间越长厚度越厚，涂敷厚度为2-12μm，控制速率为2μm/小时左右；

7、当涂敷结束后气化裂解室降温至150℃以下依序关闭制冷机、传动电机，并打开节流阀，直至气化裂解室温度低于80℃，可关闭节流阀，停止真空机械泵的工作；

8、当气化裂解室温度低于60℃，即可打开聚合沉积室放气阀，开启真空钟罩，并测量监控装置的透明玻璃管镀膜厚度，测得的膜厚即为被涂敷材料的膜厚。

一种针对上述涂敷方法的氟代聚对二甲苯的涂敷专用设备，包括气化裂解室、聚合沉积室、冷阱、节流阀、真空机械泵、制冷机，所述气化裂解室与聚合沉积室连通，聚合沉积室与冷阱连通，真空机械泵通过节流阀与聚合沉积室连通，冷阱通过制冷机制冷，其中：

所述的气化裂解室为不锈钢裂解腔体，内设有气化舟，在不锈钢裂解腔体外部装有电加热管，裂解室通过管道与聚合沉积室相连通；

所述的聚合沉积室具有一真空钟罩，真空钟罩上设置有密封圈、观察窗，真空钟罩内设置有气体分流器，气体分流器入口与气化裂解室连接管出口相连，在真空钟罩中部装置有与传动电机轴连接的支架，在气体分流器上设置有拨动块，在支架上装置有监控装置。

气体分流器具有气体分流器筒体，筒体上、下封闭，在筒体一侧分布有不同流阻的气体分流孔，以达到腔体分布均匀的目的。

支架用于展开被涂敷材料，支架经过真空密封传动机构与传动电机轴连接，传动轴上装置有真空密封圈。