[发明专利]氟代聚对二甲苯的涂敷方法及涂敷专用设备

权利要求书

1、一种氟代聚对二甲苯的涂敷方法，将氟代聚对二甲苯原料气化、裂解成活性单体，被涂敷材料在密闭压力容器内，在真空度40-60Pa和250-350℃条件活性单体沉积在被涂敷材料表面形成涂敷层。

2、根据权利要求1所述的氟代聚对二甲苯的涂敷方法，其特征在于：被涂敷材料固定在密闭压力容器内的旋转支架上，采用旋转涂敷。

3、根据权利要求1所述的氟代聚对二甲苯的涂敷方法，其特征在于：涂敷厚度为2-12μm，涂敷速率为2μm/小时。

4、根据权利要求3所述的氟代聚对二甲苯的涂敷方法，其特征在于涂敷的方法具体包括以下步骤：

1)将氟代聚对二甲苯原料盛装在气化裂解室的气化舟内：

2)将需涂敷的材料夹装在聚合沉积室的支架上，垫上密封圈，合上真空钟罩，其中，支架与传动电机轴连接；

3)打开节流阀，开启真空机械泵，对系统抽真空，当系统真空度达到25Pa以下；将气化裂解室升温，在温度达到100℃时，用氮气吹气化裂解室底部5-10分钟，当温度到250-350℃，打开冷阱，使冷阱温度达到-50℃以下，加热过程中调节节流阀控制抽真空速度，使聚合沉积室真空度保持在40-60Pa，同时启动传动电机，使支架开始旋转，旋转速度控制在每分钟5-15转；

4)气化裂解室中的氟代聚对二甲苯首先气化，然后裂解成为活性单体，通过气体分流器进入聚合沉积室，在涂敷材料表面沉淀，通过气体分流器使聚合沉积室内气体分布均匀，并让氟代聚对二甲苯涂敷在转动的需被涂敷材料的表面上；

5)通过真空钟罩上的观察窗监控涂敷质量；

6)根据每批涂敷厚度要求控制气化裂解室温度在250-350℃之间，涂敷时间越长厚度越厚，涂敷厚度为2-12μm，控制速率为2μm/小时；

7)当涂敷结束后气化裂解室降温至150℃以下，依序关闭制冷机、传动电机，并打开节流阀至气化裂解室温度低于80℃，关闭节流阀，停止真空机械泵的工作；

8)当气化裂解室温度低于60℃，打开聚合沉积室放气阀，开启真空钟罩，并测量监控装置的透明玻璃管镀膜厚度，测得的膜厚即为被涂敷材料的膜厚。

5、针对权利要求4所述涂敷方法提供一种氟代聚对二甲苯表面涂敷设备，该设备包括气化裂解室、聚合沉积室、冷阱、节流阀、真空机械泵、制冷机，其特征在于：所述气化裂解室与聚合沉积室连通，聚合沉积室与冷阱进口连通，真空机械泵通过节流阀与冷阱出口连通，冷阱通过制冷机制冷，使冷阱制冷温度最低可达到-100℃，其中：

所述的气化裂解室为不锈钢裂解腔体，内设有气化舟，在不锈钢裂解腔体外部装有电加热管，裂解室通过管道与聚合沉积室相连通；

所述的聚合沉积室具有一真空钟罩，真空钟罩上设置有密封圈，真空钟罩内设置有气体分流器，气体分流器入口与气化裂解室连接管出口相连，在真空钟罩中部装置有与传动电机轴连接的支架，在气体分流器上设置有拨动块，在支架上装置有监控装置。

6、根据权利要求5所述的一种氟代聚对二甲苯表面涂敷设备，其特征在于：所述的不锈钢裂解腔体采用304、304L、316L或317L不锈钢材。

7、根据权利要求5所述的一种氟代聚对二甲苯表面涂敷设备，其特征在于：所述的气化裂解室与聚合沉积室之间的连接管道采用椭球形，连接管道距离为5-10厘米。

8、根据权利要求5所述的一种氟代聚对二甲苯表面涂敷设备，其特征在于：所述的监控装置采用透明玻璃管，通过固定杆设置在支架上，监控装置与观察窗在同一平行线上。

9、根据权利要求5所述的一种氟代聚对二甲苯表面涂敷设备，其特征在于：所述的气体分流器具有气体分流器筒体，筒体上、下封闭，在筒体一侧分布有不同流阻的气体分流孔，气体分流器上设有拨动块。

10、根据权利要求5所述的一种氟代聚对二甲苯表面涂敷设备，其特征在于：真空机械泵的真空度最高达到50-60Pa以下。