[发明专利]一种光刻机投影物镜安装调平装置

说明书

技术领域

本发明涉及光刻机的安装调平装置领域，尤其涉及可用于调平光刻机投影物镜的使用柔性块的调平装置。

背景技术

对大规模集成电路的制造工艺过程来说，投影光刻是最为关键的工艺，需要用到投影光刻机，而投影物镜就是投影光刻机的核心，其性能直接决定了光刻的图形传递能力。为保证投影物镜拥有良好的图形传递能力，那么相应对投影物镜就会有很高的安装精度要求。对投影物镜的安装要求包括对投影物镜顶平面的调平精度要求。

通常对投影物镜顶平面的调平采用机械安装工艺的方法。此方法可以采用修磨垫片的方法来实现调平。先通过高分辨力的水平测量仪测出被测量基准面的水平度，随后把测量出的水平度与期望值进行比较，确定安装基准面下相应的各个垫片的修磨量，经过修磨后使水平度达到期望值。采用这种方式可达到比较高的水平度要求，但是整个调平过程也比较繁琐。为实现这些高精密部件的安装，机械上也常采用螺纹双向调节的方式，同样先是通过高分辨力的水平测量仪测出被测量基准面的水平度，随后装配人员根据测出值与期望值之间的偏移量来调节相应的螺纹结构，以达到期望的水平度要求。这种方式虽然不需像修磨垫片方法那样重复加工-安装-加工-安装的调平过程，可以实时在线地调出所要求的水平度要求，但是需要提供具有螺纹调节装置的安装底板，结构设计上相对比较复杂。上述的两种投影物镜的安装方法，不能为投影物镜提供抗外界振动或冲击的作用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻机投影物镜安装调平装置，可克服修磨垫片的调平装置存在的繁琐的调平过程的问题和螺纹双向调节的调平装置存在的结构复杂的问题，同时能减小外界振动和冲击给投影物镜带来的危害。

为达到上述目的，本发明的光刻机投影物镜安装调平装置，它用于调平带有安装法兰的投影物镜。该调平装置包括安装基板，若干柔性块，安装件和固定件。柔性块前端通过固定件与投影物镜的安装法兰连接，柔性块底座通过安装件安装在安装基板上。柔性块前端开有第一狭长槽，柔性块后端与第一狭长槽相向方向开有第二狭长槽。柔性块还包括自柔性块后端面延伸出的两个凸出的受力块和一个可控制柔性块前端翘起和压下的调节杆，调节杆安装在两个受力块上。柔性块前端上表面纵向开有一凹槽，该凹槽为一横截面为半圆形的凹槽。为实现简单调平的结构，采用机械设计中最基本的三点调平结构，该调平装置包括三个柔性块，且三个柔性块等圆周均布地固定在投影物镜的安装法兰和安装基板上。柔性块上的调节杆由一双头螺柱，一对前端翘起调节螺母，一对前端压下调节螺母组成。一对翘起调节螺母安装在双头螺柱的两端，位于两个受力块的外侧。一对前端压下调节螺母安装在一对前端翘起调节螺母之间，位于两个受力块的内侧。固定件为若干投影物镜固定螺钉，安装件为若干柔性块安装螺钉。

与目前的调平装置相比，本发明的光刻机投影物镜安装调平装置具有可控制柔性块前端翘起和压下的调节杆，通过这种简单结构的调节杆可实现投影物镜的调平。通过柔性块中部开有的第一狭长槽和第二狭长槽形成的一弹性支点来避免外界的振动和冲击给投影物镜带来的损害。通过在柔性块前端上表面开有的一凹槽，可以解决调平时出现的过约束问题。

附图说明

以下结合附图和具体实施例对本发明的光刻机投影物镜安装调平装置作进一步详细具体的说明。

图1是本发明投影物镜安装调平装置示意图。

图2是本发明调平装置的柔性块部分剖面示意图。

图3是本发明调平装置的柔性块剖面示意图。

具体实施方式