[发明专利]一种光刻机投影物镜安装调平装置

权利要求书

1.一种光刻机投影物镜安装调平装置，用于调平带有安装法兰的投影物镜，其特征在于，所述调平装置包括安装基板，若干柔性块，安装件和固定件，所述柔性块前端通过固定件与所述投影物镜的安装法兰连接，所述柔性块底座通过安装件安装在所述安装基板上；所述柔性块前端开有第一狭长槽，所述柔性块后端与第一狭长槽相向方向开有第二狭长槽；所述柔性块还包括自所述柔性块后端面延伸出的两个凸出的受力块和一个可控制所述柔性块前端翘起和压下的调节杆，所述调节杆安装在所述两个受力块上。

2.如权利要求1所述的光刻机投影物镜安装调平装置，其特征在于，它包括三个柔性块，所述三个柔性块等圆周均布地固定在所述投影物镜的安装法兰和所述安装基板上。

3.如权利要求1所述的光刻机投影物镜安装调平装置，其特征在于，所述柔性块前端上表面纵向开有一凹槽。

4.如权利要求3所述的光刻机投影物镜安装调平装置，其特征在于，所述柔性块前端上表面纵向开有的凹槽为一横截面为半圆形的凹槽。

5.如权利要求1所述的光刻机投影物镜安装调平装置，其特征在于，所述调节杆由一双头螺柱，一对前端翘起调节螺母，一对前端压下调节螺母组成；所述一对翘起调节螺母安装在所述双头螺柱的两端，位于所述两个受力块的外侧，所述一对前端压下调节螺母安装在所述一对前端翘起调节螺母之间，位于所述两个受力块的内侧。

6.如权利要求1所述的光刻机投影物镜安装调平装置，其特征在于，所述固定件为若干投影物镜固定螺钉，所述安装件为若干柔性块安装螺钉。