[发明专利]一种超薄空腔型功率模块及其封装方法有效
| 申请号: | 200810022897.2 | 申请日: | 2008-07-25 |
| 公开(公告)号: | CN101325183A | 公开(公告)日: | 2008-12-17 |
| 发明(设计)人: | 庄伟东 | 申请(专利权)人: | 南京银茂微电子制造有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/04 | 分类号: | H01L23/04;H01L23/10;H01L21/48 |
| 代理公司: | 南京知识律师事务所 | 代理人: | 樊文红 |
| 地址: | 210002江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 超薄 空腔 功率 模块 及其 封装 方法 | ||
1.一种超薄空腔型功率模块,包括模壳和模壳内的芯片以及硅胶,模块体厚度在4mm至7mm之间,其特征是,所述模壳包括底板、壳体和盖板,所述底板和盖板分别与壳体密封粘接,所述盖板上设有预留气孔,预留气孔内填充粘合剂。
2.根据权利要求1所述的功率模块,其特征是,所述壳体的正、反面与盖板、底板的连接处设有密封槽,用于填充粘接剂。
3.根据权利要求1所述的功率模块,其特征是,所述底板的外表面比壳体安装底面高出0.01mm至0.2mm。
4.根据权利要求1所述的功率模块,其特征是,所述壳体的四角设有安装定位孔,安装定位孔带有内螺纹。
5.根据权利要求1所述的功率模块,其特征是,所述预留气孔为圆锥形,底部直径在0.1mm至3mm之间,圆锥角度在20度至60度之间。
6.根据权利要求1所述的功率模块,其特征是,所述壳体使用低透水率的工程塑料。
7.一种超薄空腔型功率模块的封装方法,超薄空腔型功率模块的体厚度在4mm至7mm之间,其特征是,该方法包括下列步骤:
(1)将粘合剂挤出到壳体背面的槽中,形成覆盖,然后安装底板,送至治具中高温固化;
(2)对模块腔体实行灌胶处理;
(3)硅胶固化前进行真空去泡处理;
(4)将粘合剂挤出到壳体正面的槽中,形成覆盖,然后安装盖板,送至治具中高温固化;
(5)使用粘合剂100%填充盖板上的预留气孔,固化粘合剂。
8.根据权利要求7所述的封装方法,其特征是,所述步骤(5)中,所述预留气孔密封在腔体内气体干燥后进行。
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