[发明专利]光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备

说明书

技术领域

本发明涉及光伏组件制造领域，尤其是涉及一种光伏组件规模制造用等 离子体化学气相沉积真空设备。

背景技术

现有技术中，用于光伏组件规模制造的等离子体化学气相沉积真空设 备，包括真空沉积腔室以及电极盒子等主要部件。一个沉积电极盒子包含多 个射频电极，每个电极可以沉积4片太阳电池，将预热完成的电极盒子放入 一个真空沉积腔室当中，在真空室里完成非晶硅薄膜太阳电池的沉积，沉积 完成后将电极盒子取出进行冷却。

现有技术所存在的缺点在于：每次在沉积前需要将装有待沉积玻璃的电 极盒子在其它装置预热好后，推入沉积腔室，然后将电极盒子的电极安装好； 而沉积完毕后，又需要将沉积好非晶硅薄膜太阳电池的电极盒子的电极卸 下，并将电极盒子拉出真空腔室，在其它辅助装置冷却。电极接头如此的频 繁装卸，对电极的接触产生及其不好的影响，电极的接触不好又将导致射频 辉光的不稳定，从而导致生产过程中的合格率不高。同时，现有系统也增加 了额外的预热装置和冷却装置，增加了生产线当中流水线的过程。

发明内容

本发明的目的是：公开一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积 真空设备，它能提高产品的合格率，并且系统结构简单，能减少生产制造的 成本。

本发明方法的技术方案是：一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相 沉积真空设备，其特征在于：它包括有真空腔体、电极盒子，所述真空腔体 为可分离式真空腔体，它包括相对固定的主体部和可分离部；所述电极盒子 装设在真空腔体主体部内，且在沉积前、沉积过程中、沉积后都保持与真空 腔体主体部相对静止。

下面对上述方案进行进一步的解释：

所述真空腔体优选的结构是包括：一个位于中段部位的主体部和分别位 于两端部位的可分离部，所述主体部和两端的可分离部可密闭构成真空腔 体，也可在需要装、卸沉积产品时分离开。

所述真空腔体的主体部设置有射频引入电极。

所述电极盒子设置有与射频引入电极对应连接的电极接头，且在沉积 前、沉积过程中、沉积后，射频引入电极都与电极接头保持接触。

所述电极盒子上部设置有进气口，进气口依次通过两个带筛状气孔的气 盒子与电极盒子内腔相通，第二个气盒子的筛状气孔的分布面积足够覆盖整 个电极盒子上方。

本发明与现有技术相比具有下列优点：

1.本发明的光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备，通 过移动真空腔体的一部分，来避免电极盒子的运动，在生产过程中保持电极 盒子静止。这样避免了现有装置在每次沉积过程都需要将电极盒子推入、推 出导致电极频繁装卸接触而严重受损；避免了因电极受损而使得射频辉光不 稳定，导致产品的合格率降低。因此，本发明可以大大的提高生产的合格率。

2.本发明将预热、冷却系统和沉积系统并入一个系统设备内，减少了 生产线所需的设备数量，使得生产线变的更加简洁。

3.本发明还可优选设计成用同一个抽气系统给两个沉积室抽气，用同 一套射频电源和气路供应系统为两套沉积室共同使用，可以大大的降低设备 的造价，从而实质性的降低了非晶硅薄膜太阳电池的每瓦制造成本。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的描述：

图1为本发明真空腔体密闭时的结构示意图；

图2为本发明的真空腔体分离时的示意图；

图3为本发明真空腔体的截面示意图；

图4为本发明电极盒子的截面示意图。

其中：10真空腔体；11真空腔体的主体部；12真空腔体的可分离部； 13真空腔体的可分离部；18射频引入电极；20电极盒子；21电极接头； 22电极板；23待沉积的玻璃；24进气口；25气盒子一；26气孔；27气 盒子二；28气孔。

具体实施方式

实施例：

如图1、图2所示，一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真 空设备，它包括有真空腔体10、电极盒子20。

参考图2，真空腔体10为可分离式真空腔体，它包括一个位于中段部 位的相对固定的主体部11和分别位于两端部位的可分离部12、13。主体部 11和两端的可分离部12、13可在工作需要时密闭构成真空腔体，也可在需 要装、卸沉积产品时分离开。