[发明专利]光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备有效
| 申请号： | 200810022195.4 | 申请日： | 2008-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN101319310A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 奚建平;周子彬 | 申请（专利权）人： | 奚建平 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 苏州市新苏专利事务所有限公司 | 代理人： | 许鸣石 |
| 地址： | 215163江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 组件 规模 制造 等离子体 化学 沉积 真空设备 | ||
1.一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备，其特征 在于：它包括有真空腔体(10)、电极盒子(20)；所述真空腔体(10)为可 分离式真空腔体，它包括相对固定的主体部(11)和可分离部；所述电极盒 子(20)装设在真空腔体主体部(11)内，且在沉积前、沉积过程中、沉积 后都保持与真空腔体主体部(11)相对静止；
所述真空腔体(10)的主体部(11)设置有射频引入电极(18)；
所述电极盒子(20)设置有与射频引入电极(18)对应连接的电极接头 (21)，且在沉积前、沉积过程中、沉积后，射频引入电极(18)都与电极 接头(21)保持接触；
所述电极盒子上部设置有进气口(24)，进气口(24)通过带筛状气孔 的气盒子与电极盒子(20)内腔相通。
2.一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备，其特征 在于：它包括有真空腔体(10)、电极盒子(20)；所述真空腔体(10)为可 分离式真空腔体，它包括相对固定的主体部(11)和可分离部；所述电极盒 子(20)装设在真空腔体主体部(11)内，且在沉积前、沉积过程中、沉积 后都保持与真空腔体主体部(11)相对静止；
所述真空腔体(10)的主体部(11)设置有射频引入电极(18)；
所述电极盒子(20)设置有与射频引入电极(18)对应连接的电极接头 (21)，且在沉积前、沉积过程中、沉积后，射频引入电极(18)都与电极 接头(21)保持接触；
所述电极盒子上部设置有进气口(24)，进气口(24)依次通过带筛状 气孔(26)的气盒子一(25)、带筛状气孔(28)的气盒子二(27)与电极 盒子(20)内腔相通，气盒子二(27)的筛状气孔(28)的分布面积足够覆 盖整个电极盒子(20)上方。
3.根据权利要求1或2所述的光伏组件规模制造用等离子体化学气相 沉积真空设备，其特征在于：所述真空腔体(10)包括一个位于中段部位的 主体部(11)和分别位于两端部位的可分离部(12、13)，所述主体部(11) 和两端的可分离部(12、13)可密闭构成真空腔体，也可在需要装、卸沉积 产品时分离开。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
