[发明专利]飞秒激光制备氧化锌纳米线阵列的方法及其装置

权利要求书

1.一种飞秒激光制备氧化锌纳米线阵列的方法，其特征在于，将一束光飞秒激光经透镜聚焦辐照氧化锌靶材上，产生周期性纳米线阵列，其具体步骤如下：

1)选用脉冲宽度为20-120fs、波长为325-1200nm的超短脉冲激光，经一个凸透镜聚焦；

2)选用基底为石英玻璃、普通玻璃或硅材料的氧化锌靶材；

3)通过控制超短脉冲激光单脉冲能量10uJ-5mJ、脉冲频率10Hz-100kHz和脉冲宽度20-120fs，使激光作用于氧化锌靶材上，从而在光束聚焦的微区内诱导出周期性纳米线阵列。

2.根据权利要求1所述的飞秒激光在氧化锌体材料上制备周期性纳米线阵列的方法，其特征在于，所说的氧化锌靶材的厚度为5μm-2mm。

3.实现权利要求1所述方法的装置，其特征在于，由激光加载系统和靶材装夹系统依次连接构成，激光加载系统由飞秒激光器(1)和光开关(2)、反射镜(3)和凸透镜(4)组成，由飞秒激光器(1)输出的飞秒激光束经过光开关(2)、反射镜(3)和凸透镜(4)聚焦到靶材装夹系统。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，在光开关(2)、反射镜(3)之间依次设置倍频晶体(8)、滤光片(9)。

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，在飞秒激光器(1)和光开关(2)之间设置光学参量放大器(10)。

6.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述的靶材装夹系统由氧化锌靶材(5)、二维精密位移台(6)和控制计算机(7)组成，氧化锌靶材(5)固定在二维精密位移台(6)上，控制计算机(7)与二维精密位移台(6)相连。