[发明专利]高速缝纫机针杆离子镀GIC镀层实现无油化的处理方法有效
申请号: | 200810017486.4 | 申请日: | 2008-02-03 |
公开(公告)号: | CN101307426A | 公开(公告)日: | 2008-11-19 |
发明(设计)人: | 蒋百灵;文晓斌 | 申请(专利权)人: | 西安理工大学 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/35;D05B55/00;D05B71/04 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710048*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高速 缝纫机 离子镀 gic 镀层 实现 无油化 处理 方法 | ||
1.一种高速缝纫机针杆离子镀GIC镀层实现无油化的处理方法,通过磁控溅射技术在针杆表面镀厚度为1.4~1.5μm的GIC镀层,使该GIC镀层的硬度为1900HV~2500HV,摩擦系数为0.04~0.1,其特征在于,该方法按照以下的步骤实施:
步骤1、将针杆清洗干燥后放入多靶磁控溅射离子镀设备的真空室中,抽真空使真空度达到1×10-3Pa~6×10-3Pa,并通入氩气;
步骤2、对步骤1真空室中的针杆进行离子轰击清洗,控制参数为:负偏压值-500~-300V,脉冲频率150~250KHZ,脉冲宽度500~1000ns,轰击清洗时间20~30min;
步骤3、同时开启若干铬靶和石墨靶,对步骤2处理后的针杆进行镀膜,控制参数为:负偏压值-60~-80V,脉冲频率150~250KHZ,脉冲宽度1000~1500ns,铬靶的靶电流ICr为0.2~0.4A,石墨靶的靶电流IC为6~8A,靶电流工作时间280~380min,即完成处理过程。
2.按照权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤3的镀膜过程中,控制氩气的流量为15~25sccm。
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