[发明专利]CIS系粉末的制作方法及其靶材的制作方法

权利要求书

1、一种CIS系粉末的制作方法，其特征在于，CIS系粉末的制作方法包括：

在一个含有惰性气体的反应槽内混合一种含有Cu的起始物、一种含有M₁的起始物、一种含有M₂的起始物及一种嵌合性溶剂，以使该嵌合性溶剂于该反应槽内抽取出所述起始物的阳离子与阴离子，并形成一呈均相的含有Cu、M₁与M₂的母体；

其中，该呈均相的母体经回流后进一步地反应形成含有黄铜矿晶相的粉末，M₁是选自下列的元素：In、Ga，或其组合，M₂是选自下列的元素：Se、S，或其组合。

2、根据权利要求1所述的CIS系粉末的制作方法，其特征在于，该嵌合性溶剂是选自下列的至少一种溶剂：乙二胺、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二甲基亚砜、N-甲基吡咯烷，或吡啶；该含有Cu的起始物是选自下列的至少一种材料：CuCl、CuCl₂·2H₂O，或CuSO₄；该含有M₁的起始物是选自下列的至少一种材料：InCl₃·4H₂O、In₂O₃、In(NO₃)₃、Ga，或GaCl₃；该含有M₂的起始物是选自下列的至少一种材料：Se、Na₂Se，或S。

3、根据权利要求2所述的CIS系粉末的制作方法，其特征在于，该嵌合性溶剂是二甲基甲酰胺；该含有Cu的起始物是CuCl；该含有M₁的起始物是InCl₃·4H₂O与Ga的一种组合；该含有M₂的起始物是Se；且CuCl、InCl₃·4H₂O、Ga与Se的摩尔浓度是在0.90：0.88：0.22：2.20～1.10：0.72：0.18：1.90之间。

4、根据权利要求2所述的CIS系粉末的制作方法，其特征在于，该嵌合性溶剂是二甲基甲酰胺；该含有Cu的起始物是CuCl；该含有M₁的起始物是InCl₃·4H₂O；该含有M₂的起始物是Se；且CuCl、InCl₃·4H₂O与Se的摩尔浓度是在0.90：1.10：1.90～1.10：0.90：2.20之间。

5、根据权利要求2所述的CIS系粉末的制作方法，其特征在于，该嵌合性溶剂是二甲基甲酰胺；该含有Cu的起始物是CuCl；该含有M₁的起始物是In₂O₃与Ga的一种组合；该含有M₂的起始物是Se；且CuCl、In₂O₃、Ga与Se的摩尔浓度是在0.90：0.88：0.22：2.20～1.10：0.72：0.18：1.90之间。

6、根据权利要求2所述的CIS系粉末的制作方法，其特征在于，该嵌合性溶剂是二甲基甲酰胺；该含有Cu的起始物是CuCl；该含有M₁的起始物是In(NO₃)₃与Ga的一种组合；该含有M₂的起始物是Se；且CuCl、In(NO₃)₃、Ga与Se的摩尔浓度是在0.90：0.88：0.22：2.20～1.10：0.72：0.18：1.90之间。

7、根据权利要求2所述的CIS系粉末的制作方法，其特征在于，该嵌合性溶剂是二甲基甲酰胺；该含有Cu的起始物是CuCl；该含有M₁的起始物是InCl₃·4H₂O与Ga的一种组合；该含有M₂的起始物是Na₂Se；且CuCl、InCl₃·4H₂O、Ga与Na₂Se的摩尔浓度是在0.90：0.88：0.22：2.20～1.10：0.72：0.18：1.90之间。