[发明专利]蒸发坩埚和具有合适的蒸发特性的蒸发设备

权利要求书

1.一种蒸发坩埚，包括：

导电腔管(120)，其具有形成封闭空间的壁，所述腔管具有管轴线(2)；

第一电连接(162；182)；

第二电连接(162；182)，其中所述第一电连接和所述第二电连接适用于提供基本平行于所述管轴线的加热电流；

至少一个进料开口(134)；以及

至少一个分配孔(170；470；670)。

2.如权利要求1所述的蒸发坩埚，其中，所述腔管(120)的所述壁的多个部分形成柱体，并且所述管轴线沿所述柱体的高度方向设置。

3.一种蒸发坩埚，包括：

导电腔管(120)，其具有形成封闭空间的壁；

至少两个分配孔(170；470；670)或一个狭缝形的分配孔，所述至少两个分配孔或者所述狭缝形的分配孔(170；470；670)形成在所述腔管的所述壁中，并定义择优方向；

第一电连接(162；182)；

第二电连接(162；182)，其中所述第一电连接和所述第二电连接适用于提供基本平行于所述择优方向的加热电流；以及

至少一个进料开口(134)。

4.如权利要求1-3中任意一项所述的蒸发坩埚，其中所述封闭空间包括熔融蒸发区域。

5.如权利要求1-4中任意一项所述的蒸发坩埚，其中所述进料开口(134)位于所述腔管(120)的所述壁中。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的蒸发坩埚，其中所述第一电连接(162；182)相对于所述管轴线(2)方向位于所述腔管的一侧，并且所述第二电连接(162；182)相对于所述管轴线方向位于所述腔管的另一侧。

7.如权利要求1-6中任意一项所述的蒸发坩埚，还包括：

至少一个盖，所述盖与所述腔管形成封闭空间。

8.如权利要求1-2中任意一项所述的蒸发坩埚，其中所述至少一个分配孔(170；470；670)是所述腔管的所述壁中的钻孔。

9.如权利要求1-8中任意一项所述的蒸发坩埚，其中所述至少一个分配孔是至少三个分配孔。

10.如权利要求9所述的蒸发坩埚，其中所述至少三个分配孔被布置成定义了择优方向。

11.如权利要求10所述的蒸发坩埚，其中所述择优方向平行于管轴线(2)和加热电流方向中的至少之一。

12.如权利要求1-11中任意一项所述的蒸发坩埚，其中至少一个分配孔(170；470；670)是狭缝形或圆形的。

13.如权利要求1-12中任意一项所述的蒸发坩埚，还包括：

至少一个其它进料开口(134)。

14.如权利要求1-13中任意一项所述的蒸发坩埚，其中所述腔管(120)由若干沿所述管轴线(2)的方向一个接一个布置的管元件形成。

15.如权利要求1-14中任意一项所述的蒸发坩埚，还包括：

第一加热部分，其紧邻所述腔管设置，并且被设置在所述腔管和所述第一和第二电连接(162；182)中的一个电连接之间。

16.如权利要求15所述的蒸发坩埚，其中所述加热部分的横截面积小于所述电连接的横截面积。

17.如权利要求1-16中任意一项所述的蒸发坩埚，其中所述腔管(120)包含至少一种选自由金属硼化物、金属氮化物、金属碳化物、非金属硼化物、非金属氮化物、非金属碳化物、氮化物、硼化物、石墨、TiB₂、BN及其组合组成的组的材料。

18.如权利要求1-17中任意一项所述的蒸发坩埚，其中所述分配孔定义了蒸发轴线，并且所述蒸发轴线是基本水平的。

19.如权利要求1-18中任意一项所述的蒸发坩埚，其中所述分配孔定义了蒸发轴线，并且所述蒸发轴线是竖直定向的。

20.如权利要求1-19中任意一项所述的蒸发坩埚，其中所述分配孔定义了蒸发轴线，并且所述分配孔具有3mm-20mm的沿所述蒸发轴线的长度。