[发明专利]蒸发坩埚和具有合适的蒸发特性的蒸发设备

说明书

技术领域

本发明一般地涉及薄膜形成设备和用于薄膜形成用蒸发设备的坩埚。具体地，本发明涉及用于蒸发合金或金属的坩埚。特别地，本发明涉及蒸发坩埚和蒸发设备。

背景技术

蒸发器可以用于基板上的材料薄膜涂层。例如，利用金属膜的涂层(其例如提供大面板显示器的电容器或提供薄片上的保护层)可以利用蒸发器来施加。具体地，对于大面板显示器，可以以大的并且相对很薄的玻璃板来提供的基板可以被垂直放置在涂层工艺中，并且用垂直蒸发器来进行涂层。

具体地对于垂直蒸发来说，将被沉积在基板上的材料蒸汽的源通常设置有垂直喷嘴管，其定义了用于涂层垂直排列的基板的线性垂直延伸的源。

由此提供的线性源具有高的复杂性，并且制造和维护很昂贵。此外，垂直延伸的喷嘴管提供朝向基板的显著热辐射。

此外，已经被建议用于蒸发坩埚的不同温度区域的稳定性可能不足，因为将被蒸发的材料可能在坩埚的各个区域中迁移，还可能溶解坩埚的不同部分，从而温度定制可能被劣化。

发明内容

根据上述情况，本发明提供了根据本发明的第一方面、第二方面和第三方面的蒸发坩埚，以及根据第四方面的蒸发设备。

根据本发明第一方面的一个实施例，提供了一种蒸发坩埚。所述蒸发坩埚包括：导电腔管，其具有形成封闭空间的壁，所述腔管具有管轴线；第一电连接；第二电连接，其中所述第一电连接和所述第二电连接适用于提供基本平行于所述管轴线的加热电流；至少一个进料开口；以及至少一个分配孔。

根据本发明第二方面的一个实施例，提供了一种蒸发坩埚。所述蒸发坩埚包括：导电腔管，其具有形成封闭空间的壁；至少两个分配孔或一个狭缝形的分配孔，所述至少两个分配孔或者所述狭缝形的分配孔形成在所述腔管的所述壁中，并定义择优方向；第一电连接；第二电连接，其中所述第一电连接和所述第二电连接适用于提供基本平行于所述择优方向的加热电流；以及至少一个进料开口。

根据本发明第三方面的一个实施例，提供了一种蒸发坩埚。所述蒸发坩埚包括：导电腔管，其具有壁，从而形成封闭空间，所述腔管具有管轴线；第一电连接；第二电连接；至少一个进料开口；以及至少一个分配孔，其中所述封闭空间包括熔融蒸发区域。

根据本发明第四方面的一个实施例，提供了一种包括至少一个蒸发坩锅的蒸发设备。所述蒸发坩锅包括：导电腔管，其具有壁，所述腔管具有管轴线；第一电连接；第二电连接，其中所述第一电连接和所述第二电连接适用于提供基本平行于所述管轴线的加热电流；至少一个进料开口；以及至少一个所述腔的所述壁中的分配孔。

根据从属权利要求、说明书和附图，可以清楚了解可以与上述实施例结合的进一步的优点、特征、方面以及细节。

实施例还涉及用于完成所公开的方法的并且包括用于执行所述方法步骤的设备部件的设备。这些方法步骤可以通过硬件构件、由适当的软件编程的计算机、通过上述两种方式的任意组合或任何其它方式来执行。此外，实施例还涉及所述设备的操作方法或所述设备的制造方法。其包括用于实现设备的功能的方法步骤或制造设备的部件的方法步骤。

附图说明

本发明的上述和其它更具体的方面中的一部分将在下面的描述中进行描述，参考附图进行局部说明。

图1示出了根据本文所述的实施例的包括电连接和腔管的蒸发坩埚的示意图；

图2示出了根据本文所述的实施例的包括电连接和腔管的又一蒸发坩埚的示意图；

图3A示出了根据本文所述的实施例的包括电连接和腔管的还又一蒸发坩埚的示意图；

图3B和图3C示出了图3A的蒸发坩埚的其它示意图；

图4A到图4D示出了蒸发坩埚的示意图，并且图示了根据本文所述的实施例的不同的分配孔；

图5示出了根据本文所述的实施例的包括电连接和形成腔管的若干部分的蒸发坩埚的示意图；

图6A到图6C示出了根据本文所述的实施例的包括电连接、腔管和不同形状的分配孔的蒸发坩埚的示意图；

图7示出了根据本文所述的实施例的包括多个蒸发坩埚的蒸发设备的示意图；

图8示出了根据本文所述的实施例的包括多个蒸发坩埚的又一蒸发设备的示意图；以及

图9A和图9B示出了腔管部分之间的连接的示意图。

具体实施方式