[发明专利]等离子显示器及其制造方法

权利要求书

1、一种等离子显示器面板的制造方法，该等离子显示器面板具有：一对相对的基板；和设置在所述基板间、保持基板间的间隙的格子形状的隔壁，其特征在于，该制造方法包括以下工序：

在玻璃基板上设置由隔壁材料构成的隔壁材料层的工序；

在所述隔壁材料层上设置条纹形状的台阶形成层的工序；和

除掉所述隔壁材料层及台阶形成层的不需要部分，形成隔壁的形状的工序。

2、根据权利要求1所述的等离子显示器面板的制造方法，其特征在于：

所述形成隔壁的形状的工序是喷砂法或化学蚀刻法。

3、根据权利要求1所述的等离子显示器面板的制造方法，其特征在于：

所述台阶形成层形成在纵隔壁上，所述条纹形状的宽度比所述纵隔壁的上底的宽度宽。

4、根据权利要求1所述的等离子显示器面板的制造方法，其特征在于：

所述台阶形成层形成在纵隔壁上，所述条纹形状的宽度比所述纵隔壁的上底的宽度窄。

5、根据权利要求1所述的等离子显示器面板的制造方法，其特征在于：

所述台阶形成层是含有玻璃的材料，所述台阶形成层与形成有纵隔壁的位置重叠地形成为宽度比纵隔壁的上底的宽度宽的条纹状，

所述形成隔壁的形状的工序具有：在所述台阶形成层上粘贴感光性抗蚀剂的工序；使用形成有格子状的隔壁图案的掩膜，将感光性抗蚀剂曝光并显影的工序；和使用形成有隔壁图案的抗蚀剂，进行喷砂处理的工序。

6、根据权利要求1所述的等离子显示器面板的制造方法，其特征在于：

所述台阶形成层使用与所述隔壁材料层相同的材料。

7、根据权利要求1所述的等离子显示器面板的制造方法，其特征在于：

所述台阶形成层使用与所述隔壁材料层不同的材料。

8、根据权利要求1所述的等离子显示器面板的制造方法，其特征在于：

作为所述台阶形成层，使用含有呈黑色或暗色的无机化合物的玻璃。

9、一种相对配置有前面基板和背面基板的等离子显示器面板，其特征在于：

所述前面基板具有多个电极和以覆盖该电极的方式形成的电介质层，所述背面基板具有地址电极和划分放电单元的隔壁，所述隔壁由与所述地址电极平行的纵隔壁和与所述地址电极正交、高度与所述纵隔壁相等的横隔壁构成，

在所述纵隔壁上具有台阶形成层。

10、根据权利要求9所述的等离子显示器面板，其特征在于：

所述台阶形成层在横隔壁上具有一部分突出的突出部，所述突出部在端部具有曲面。

11、根据权利要求9所述的等离子显示器面板，其特征在于：

所述台阶形成层的宽度比纵隔壁的上面的宽度窄，所述台阶形成层的上面成为纵隔壁中央部的上部高的形状。

12、根据权利要求9所述的等离子显示器面板，其特征在于：

所述台阶形成层由含有玻璃的部件构成，是与所述隔壁材料相同的材料。

13、根据权利要求9所述的等离子显示器面板，其特征在于：

所述台阶形成层由含有玻璃的部件构成，是与所述隔壁材料不同的材料。

14、根据权利要求12所述的等离子显示器面板，其特征在于：

所述台阶形成层由含有呈黑色或暗色的无机化合物的玻璃构成。

15、根据权利要求14所述的等离子显示器面板，其特征在于：

所述无机化合物含有Fe、Mn、Co、Cu、Cr、Ru、Ti、Ni、Mo、Nd中的任意一种的氧化物或复合氧化物。

16、根据权利要求9所述的等离子显示器面板，其特征在于：

所述台阶形成层的厚度为10μm以上。

17、根据权利要求9所述的等离子显示器面板，其特征在于：

所述台阶形成层在地址电极方向上连续，并且在与地址电极正交的方向上不连续。