[发明专利]基板组装装置和基板组装方法

说明书

本申请是株式会社日立工业设备技术于2006年05月25日提出的发明名称为“基板组装装置和基板组装方法”、申请号为200610084511.1的申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种基板组装装置，该基板组装装置在形成液晶显示器的情况下，在将液晶滴在工作台上的基板上之后，利用涂敷在加压板侧或工作台上的任何一方的基板上的粘接剂进行贴合。

背景技术

作为现有的液晶显示面板的制造装置具有如特开平10-26763号公报中所述的装置。在该公报中，在将液晶涂敷在设置有透明电极和薄膜晶体管阵列的两张玻璃基板的一方侧上，并且将隔板(スペ一サ)进行分散设置后，将另一方的基板利用具有上下机构的销钉载置在一方的基板上，并利用设置在装置左右方向上的定位销对该基板进行定位，然后，在使腔室内形成真空、重叠基板后再次定位，接着，通过使腔室内压力恢复到大气压侧而进行贴合。

并且，在特开2001-305563号公报中记载了以下结构，即，在一体结构的真空腔室内具有使两基板中的任何一方可拆装地固定在上面或下面的第一工作台、和使两基板的另一方可拆装地固定在下面或上面的第二工作台，使固定各基板的上面和下面相对，并具有驱动机构，该驱动机构使两工作台的一方通过弹性体可气密移动地与真空腔室结合，且使该一方的工作台在被上述弹性体划分的真空腔室内的大气侧相对于真空腔室至少在水平方向进行移动。

并且，在特开2001-5401号公报中公开了一种基板组装装置，该基板组装装置将腔室分成上下两个，并将下侧的腔室用于基板的输送，将液晶滴下装置设置在本体的横向。

而且，在特开2004-233473号公报中形成了以下结构，即，在架台上设置下架和上架，在下架侧设置使上架上下进行大的移动的第一Z轴驱动机构，在上述下架的内侧设置下腔室、在上架的内侧设置上腔室，在上腔室的内侧设置上工作台，在上述下腔室的下侧设置使设置在下腔室内的下工作台上下微小移动的第二Z轴驱动机构，在下腔室侧面设置使上述下工作台向水平方向移动的驱动机构，通过使上架和下架合为一体而使上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、形成真空腔室。

在上述特开平10-26763号公报1中，基板的加压只利用基板间和基板外侧的气压差进行，在这种情况下，基板间的密封件必须形成为切实地嵌入上下基板之间的状态。因此，有可能需要使所使用的密封件的量增多，并且有可能向显示部侧扩展。并且，虽然在真空状态下的基板保持中，将下侧的基板载置在平坦的载物台上，但由于上侧的基板用销钉状的部件支撑其周缘的适当的部位，因此，在大于等于2m×2m的大型基板的情况下，由于弯曲很难进行上下的两块基板的准确定位。

而且，由于将上下的基板直接向真空腔室中进行搬运，并且在搬运后将腔室内从大气压状态排气成真空状态，因此具有排气时间长、不能提高生产效率的问题。

并且，如特开2001-305563号公报，随着基板的大型化，真空腔室本身也形成大型，尤其是在现有的在基板的移进移出中使用闸阀的方式中，使真空腔室本身进一步大型化，基板的移进移出和保养也变得很困难。并且，如特开2001-5401号公报所示，在移动下腔室本身、将基板固定在上工作台(加压板)、固定在下工作台上以及进行定位时，下腔室的重量增大，具有需要过大的驱动力的问题。

并且，在特开2004-233473号公报所述的贴合装置的结构中，由于分别需要用于使上架上下移动的驱动机构和用于使上工作台或下工作台上下移动的驱动机构，因此，无法避免装置的大型化和重量的增加。

并且，在特开2004-233473号公报的装置中，在使上架进行上下移动时的引导机构中使用滚珠花键，可以想象不能确保大型装置所要求的刚性。

并且为了不产生贴合时的加压不均，要求保持基板的上下工作台的表面为高精度的平面，但在大型贴合装置中很难确保所要求的平面度。

本发明的目的是解决以上课题，提供小型的、可进行高精度的基板组装的基板组装装置。

发明内容

为了实现上述目的，本发明中具有上腔室和下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并被悬吊在上架上、将上工作台设置在内侧；下腔室在内侧具有被多个支撑脚支撑在架台侧的下工作台，上下腔室通过密封圈合为一体、以此构成真空腔室，上述上工作台与上述上架连结、通过上架利用上述Z轴驱动机构上下移动，上述下工作台通过设置在多个支撑脚和工作台之间的万向节载物台和设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。