[发明专利]基板组装装置和基板组装方法

权利要求书

1.一种基板组装装置，分别上下保持液晶滴在面板形成部上的下基板和上基板并使其相对、进行定位，同时，缩小间隔，在减压状态的腔室内贴合两块基板，其特征在于，

具有：上架、被上下分割的所述腔室中的上腔室、下腔室以及驱动机构，上腔室被支撑在该上架上、具有将所述上基板保持在内部的上工作台；下腔室被设置在架台上、具有保持所述下基板的下工作台；驱动机构被设置在该架台的四角、使所述上架上下移动。

2.如权利要求1所述的基板组装装置，其特征在于，将使上架上下移动时的引导机构设置在装置的四角，各引导机构为组合两个直线引导部的结构，相对于一方的引导面使另一方的引导面垂直。

3.如权利要求1所述的基板组装装置，其特征在于，使所述上架上下移动的驱动机构是滚珠丝杠和使该滚珠丝杠旋转的马达。

4.如权利要求1所述的基板组装装置，其特征在于，具有联轴节机构，通过该联轴节机构在所述上腔室移动时上工作台也一起移动，在所述上腔室与下腔室合为一体后只有所述上工作台上下移动。

5.如权利要求1所述的基板组装装置，其特征在于，为了保持玻璃基板，形成有将作为层压结构的静电吸盘安装在底板上、将该底板安装在工作台上的结构，所述层压结构重叠挠性的片状电极和弹性体的薄片。

6.如权利要求1所述的基板组装装置，其特征在于，在将基板向腔室内移入或移出的情况下，使上腔室与下腔室的间隔为100～200mm左右，并且在进行腔室内的维修保养或清扫时，使上腔室与下腔室的间隔为200～300mm左右。

7.一种基板组装方法，分别上下保持液晶滴在面板形成部上的下基板和上基板并使其相对、进行定位，同时，缩小间隔，在减压状态的腔室内贴合两块基板，其特征在于，

所述腔室为由上腔室和下腔室构成的结构，具有支撑该上腔室的上架，通过设置在上述上腔室内的上工作台保持所述上基板，通过配置在设置于架台上的下腔室内的下工作台保持所述下基板，通过设置在该架台的四角上的驱动机构使所述上架上下动作，以此组合所述上腔室和所述下腔室、形成真空腔室。

8.如权利要求7所述的基板的组装方法，其特征在于，上下驱动所述上架的驱动机构是滚珠丝杠和使该滚珠丝杠旋转的马达。