[发明专利]缺陷修正方法及缺陷修正装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种缺陷修正方法及缺陷修正装置，尤其涉及在基板上的微小区域内涂敷液态材料来修正缺陷的缺陷修正方法及缺陷修正装置。

背景技术

近年来，随着LCD(液晶显示器)的大型化、高清晰化，像素数目也在增大，很难没有缺陷地制造LCD，缺陷的发生概率也在增加。在这种状况下，为了提高成品率，通过对LCD的滤色片的制造工序中产生的缺陷进行修正来进行合格品转换的缺陷修正装置在生产线中变得不可或缺。

另外，最近也有37～45英寸左右的LCD在市场上销售，单个像素的尺寸也从小型面板的60μm×200μm左右增大为200μm×600μm左右。随着像素尺寸的增大，缺陷尺寸也在增大，修正尺寸也在增大。在这种状况下，由于在以往的较小的修正尺寸下并不成问题的修正等级在较大的修正尺寸下也成为肉眼可见的区域，因此有时会存在问题。

图5(a)～图5(c)是表示在LCD的滤色片的制造工序中产生的缺陷的图。如图5(a)～图5(c)所示，滤色片包括：透明基板；在其表面上形成的称作黑底300的格子状的图案；以及多组R(红色)像素301、G(绿色)像素302和B(蓝色)像素303。在滤色片的制造工序中会产生如图5(a)所示的像素和黑底300掉色的白缺陷304、图5(b)所示的颜色与相邻像素相混或黑底300溢出到像素中的黑缺陷305以及图5(c)所示的在像素上附着有异物的异物缺陷306等。

作为修正白缺陷304的方法，有一种使颜色与存在白缺陷304的像素相同的油墨附着在涂敷针的前端部、并将附着在针前端的油墨转移到白缺陷304上来覆盖白缺陷304的方法。此外，作为修正黑缺陷305和异物缺陷306的方法，有一种利用激光照射将缺陷部分除去而形成激光切割部、并将颜色与激光切割部所在的像素相同的油墨涂敷在激光切割部上来形成油墨涂敷部的方法。例如，在专利文献1中提出了通过油墨涂敷来修正缺陷的装置。

图6(a)～图6(e)是表示黑缺陷的修正方法的示意图。如图6(a)所示，例如，当在滤色片的透明基板的G像素302上产生了黑缺陷305时，对黑缺陷305照射激光，将黑缺陷305及其周围的G像素302除去，从而形成图6(b)所示的矩形的激光切割部310。之后，通过在激光切割部310上涂敷颜色与G像素302相同的油墨来修正黑缺陷305。

以往，涂敷比激光切割部310的容积大的量的油墨，以油墨从激光切割部310溢出的程度涂敷，从而进行修正。但是，随着LCD的高精密化，对缺陷修正后的品质的要求也变得严格，要求进行没有油墨从激光切割部310溢出的修正。为了进行没有油墨溢出的修正，如图6(c)所示，在激光切割部310的中心附近涂敷油墨，从而形成油墨涂敷部311。

此时，若油墨的粘度高而流动性差，则例如在使前端部附着有油墨的涂敷针与被涂敷物接触而涂敷了油墨时，由于被涂敷的油墨的表面张力的作用，有时无法将油墨涂敷到本应涂敷的整个区域内。例如，在图6(c)中，油墨涂敷部311并未波及整个激光切割部310，在矩形的激光切割部310的角部附近产生了未涂敷油墨的空隙312。即，如表示沿图6(c)的VID-VID线的截面的图、即图6(d)所示，在激光切割部310的中心附近，在整个激光切割部310上形成有油墨涂敷部311。另一方面，如表示沿图6(c)的VIE-VIE线的截面的图、即图6(e)所示，在激光切割部310的角部附近产生了未涂敷油墨的空隙312，基板2在空隙312处露出。

在为了消除空隙312而对激光切割部310再次涂敷油墨的场合，油墨的涂敷量反而变得过多，从而会产生油墨从激光切割部310溢出、修正后的油墨涂敷部311的颜色比G像素302深等缺陷修正后的品质问题。因此，为了消除空隙312，提出了对油墨涂敷部311喷射空气来进行油墨膜厚的均匀化(校平)的方法(例如参照专利文献2)。此时，由于油墨会因空气的喷射而从激光切割部310溢出，因此在利用曝光使油墨涂敷部311固化后，设置通过清洗将溢出的油墨去除的工序。

专利文献1：日本专利特开平9-236933号公报

专利文献2：日本专利特开平1-96601号公报