[发明专利]显示装置用基板、显示装置以及配线基板

权利要求书

1.一种显示装置用基板，其具有将多层层间绝缘膜和三层以 上的配线层交替层叠在基板的一方主面侧的结构，其特征在于：

该显示装置用基板具有数据配线，

该数据配线位于作为从基板侧起第三个配线层的第三配线层 或者位于比该第三配线层更上层的配线层，

上述显示装置用基板具有将半导体层、设置在该半导体层上的 栅极绝缘膜、设置在该栅极绝缘膜上的第一配线层、设置在该第一 配线层上的第一层间绝缘膜、设置在该第一层间绝缘膜上的第二配 线层从基板侧起按该顺序层叠的结构，并且在每个像素中具有像素 数据保持电容元件，所述像素数据保持电容元件包含由该半导体层 形成的保持电容下层电极、该栅极绝缘膜以及位于该第一配线层的 保持电容上层电极，

该保持电容上层电极在相邻的像素之间通过位于第二配线层 的保持电容配线连接，并且被配置于在俯视基板主面时与保持电容 下层电极重叠的区域内。

2.根据权利要求1所述的显示装置用基板，其特征在于：

上述显示装置用基板具有栅极配线和保持电容配线，

该栅极配线和保持电容配线中的至少一方位于作为离基板侧 最近的配线层的第一配线层和作为从基板侧起第二个配线层的第 二配线层中的至少一方。

3.根据权利要求2所述的显示装置用基板，其特征在于：

在上述显示装置用基板中，设置在第二配线层与第三配线层的 层间的第二层间绝缘膜的膜厚大于设置在第一配线层与第二配线 层的层间的第一层间绝缘膜的膜厚。

4.根据权利要求1所述的显示装置用基板，其特征在于：

上述显示装置用基板具有栅极配线，

该栅极配线的至少一部分位于作为从基板侧起第二个配线层 的第二配线层。

5.根据权利要求4所述的显示装置用基板，其特征在于：

上述第二配线层的电阻低于作为离基板侧最近的配线层的第 一配线层的电阻。

6.根据权利要求1所述的显示装置用基板，其特征在于：

上述显示装置用基板具有串联连接的多个像素开关用晶体管，

在俯视基板主面时，该多个像素开关用晶体管与数据配线重 叠。

7.根据权利要求6所述的显示装置用基板，其特征在于：

上述多个像素开关用晶体管分别包含栅极电极，所述栅极电极 位于作为离基板侧最近的配线层的第一配线层，并且在不同的像素 开关用晶体管之间相互分离配置，

该栅极电极通过位于作为从基板侧起第二个配线层的第二配 线层的连接部进行连接，

在俯视基板主面时，该连接部与数据配线重叠。

8.根据权利要求1所述的显示装置用基板，其特征在于：

在上述显示装置用基板中，作为从基板侧起第二个层间绝缘膜 的第二层间绝缘膜和比该第二层间绝缘膜更上层的层间绝缘膜中 的至少一层包含具有平坦化作用的平坦化膜。

9.根据权利要求8所述的显示装置用基板，其特征在于：

上述平坦化膜用树脂材料和旋涂玻璃材料的至少一方形成。

10.一种显示装置，其特征在于：

包括权利要求1至9中的任一项所述的显示装置用基板。