[发明专利]用于有机发光装置的基板、其用途和制备方法，以及有机发光装置

说明书

技术领域

本发明的主题是多层电极、其酸蚀刻和包含其的有机发光装置。

背景技术

已知的有机发光系统或者OLED包含有机电致发光材料或者有机电致 发光材料的多层涂层，通过电极使其带电，通常采用两个导电层位于其两 侧的形式。

这些导电层一般包含基于铟氧化物，通常是锡-掺杂的铟氧化物的 层，锡-掺杂的铟氧化物的缩写ITO更为常见。已经特别深入地研究了ITO 层。可以通过磁电管溅射很容易地使它们沉积，其中，使用氧化物靶(非 反应性溅射)或者使用基于铟和锡的靶(在氧气型氧化剂存在下的反应性溅 射)，并且它们的厚度为约100-150nm。然而，这种ITO层有许多缺点。首 先，用于改善传导性的材料和高温(350℃)沉积方法产生附加成本。除非将 层厚度增加至大于150nm，否则薄层电阻保持相对高(10Ω/□级)，而将层 厚增加又会导致透明度降低和表面粗糙度增加。

因此，开发了新的电极结构。例如，JP2005-038642文件教导了 TFT(薄膜晶体管)-驱动的发光平面屏幕，其包括顶部发光的电致发光系 统，所述电致发光系统分别产生红光、绿光和蓝光，以便形成有源矩阵 (activematrix)。

各有机发光装置均配备有所谓的背电极或者底电极，所述电极包括：

-粘附层，例如由ITO制成；

-(半)反射金属层，特别是基于银或者铝，或者由含有铝的银制成，其 厚度为至少50nm；和

-功函数匹配覆盖层(work-function-matchingoverlayer)，例如由 ITO制成。

发明内容

本发明的目的是能够获得导电层组件，以便形成可靠的电极，所述电 极耐用(特别是在稳定性和/或机械耐性和耐热性方面)，并且不牺牲其导电 性能或者其光学质量，也不牺牲包含它的装置的性能，更不会引起生产上 的困难。

本发明的目的特别是能够获得导电层组件，其用于形成可靠耐用的电 致发光系统的底电极，而不牺牲其导电性能、其光学质量或者OLED光学 性能，也不产生生产上的困难。

在本发明的内容中，术语″底电极″应该理解为指的是插入在载体基板 与OLED系统之间的电极。

此外，将以最低成本实现这一目的，而不打乱与本发明相关的有机发 光系统的已知的构造。

这涉及开发如下电极：所述电极是基本上透明的，或者既是透明的又 是反射型的或基本上反射型的，并且所述电极同等适合地用于OLED，形 成有源矩阵和无源矩阵OLED屏幕，或者形成录像屏幕背光装置，或者通 常用于(建筑和/或装饰)照明应用的装置，或者用于指示应用中，或者用于 其它电子应用中。

这一新型电极膜特别是可以具有适合用作面板的光学性能，所述面板 是OLED系统发出的光通过其离开装置的面。特别地，它可以具有充分的 光传导，同时也具有最低可能的光吸收。其原因是似乎不必要追求可能的 最高光传导以便在OLED装置的出口获得最大光能，同时，另一方面，对 于面板，必须具有最低可能的吸收。

因此，本发明也在于选择与制作有机发光装置的方法相容的薄膜多层 涂层，特别是与在OLED系统沉积之前通过蚀刻来形成底电极的步骤相 容。

本发明的目的在于通过提出制备用于有机发光装置的底电极膜的新的 解决方案补救现有技术的缺点。

为了实现该目的，本发明的主题是：一种如权利要求1所述的基板； 一种基板的用途，特别是如权利要求22所述的基板的用途；如权利要 求24所述的包括所述基板者采用所述基板的有机发光装置；和如权利要 求29所述的用于制作所述基板的方法。

从属于以上权利要求的那些权利要求限定了本发明的有利的选择。

因此，最广义地讲，本发明的一个主题是，一种用于有机发光装置的 基板，特别是透明玻璃基板，其包括，位于第一主表面之上的底电极膜， 所述电极膜由薄膜多层涂层形成，所述多层涂层至少连续包括以下各层：

-基于金属氧化物和/或金属氮化物的接触层，

-具有本征导电性能的金属功能层，和

-基于金属氧化物和/或金属氮化物的覆盖层，所述覆盖层特别是 用于匹配所述电极膜的功函数，

所述基板包括基层(baselayer)，所述基层覆盖所述基板的主表面。