[发明专利]含有氢氧化四烃基铵的显像废液的中和方法无效
| 申请号： | 200780040100.5 | 申请日： | 2007-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101558013A | 公开（公告）日： | 2009-10-14 |
| 发明（设计）人： | 山下喜文;中本达也;山内正晴 | 申请（专利权）人： | 株式会社德山 |
| 主分类号： | C02F1/66 | 分类号： | C02F1/66;B01D19/02;G03F7/32;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘粉宝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 含有 氢氧化 四烃基铵 显像 废液 中和 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种含有氢氧化四烃基铵的显像废液的中和方法，其特征在于，使溶解来自光刻胶的有机物的含有氢氧化四烃基铵的显像废液与二氧化碳或含有二氧化碳的气体在中和塔中逆流接触，对该显像废液进行中和时，将中和塔塔顶的气相部发生的气泡取出到塔外，将其加以消除。
2.根据权利要求1所述的中和方法，其特征在于，提供使从中和塔取出的气泡与加热体接触进行消泡。
3.根据权利要求2所述的中和方法，其特征在于，加热体的温度为80～97℃，而且该加热体与构成气泡的液体的接触时间为1～30秒钟。
4.根据权利要求1～3所述的中和方法，其特征在于，含有二氧化碳的气体是通过电解所述中和后的碳酸盐和/或碳酸氢盐得到的。
5.根据权利要求1～4所述的中和方法，其特征在于，从中和塔的塔底部具备的具有气体供给口的配管提供含有二氧化碳的气体，而且该配管具有的气体供给口有一个以上，各气体供给口的面积为0.07～80mm2。
6.根据权利要求1所述的中和方法，其特征在于，还包含将消泡后的溶液再度提供给中和塔的工序。
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