[发明专利]定向数据采集架构

权利要求书

1.定向数据采集系统，其配置为采集等离子处理系统中的处理数据，该定向数据采集系统包括： 

数据采集主机； 

多个等离子处理元件，其关联多个传感器，使得所述多个等离子处理元件的每一个关联所述多个传感器中的至少一个，所述传感器的每一个包括至少一个智能体，其控制传感器数据采集行为，所述多个传感器包括至少一个第一传感器和一个第二传感器，所述第一传感器包括至少一个第一智能体，所述第一智能体定义至少一个第一条件和一个第二条件，所述第一条件要求所述第一传感器在所述第一智能体被激活时以第一方式采集第一组数据，所述第二条件要求所述第一传感器在第一智能体被激活时以不同于所述第一方式的第二方式采集第二组数据，所述第二传感器包括至少一个第二智能体，所述第二智能体定义至少一个第三条件，所述第三条件要求所述第二传感器在所述第二智能体被激活时以第三方式采集第三组数据，所述第二智能体保持失活至所述第一智能体触发所述第一传感器以所述第二方式采集所述第二组数据； 

通信网络，其耦合所述数据采集主机和所述多个传感器以进行双向通信。 

2.如权利要求1所述的定向数据采集系统，其中所述的第二方式在数据采集频率上不同于所述第一方式， 

所述第二传感器包括至少一个第三智能体，所述第三智能体定义至少一个第四条件，所述第四条件要求所述第二传感器在所述第三智能体被激活时以第四方式采集第四组数据， 

所述第三智能体在所述第二智能体传送信号时采集信号数据。 

3.如权利要求1所述的定向数据采集系统，其中所述的第二方式在数据采集类型上不同于所述第一方式。 

4.如权利要求1所述的定向数据采集系统，其中所述的第二方式采用滑动窗法进行数据采集。 

5.如权利要求1所述的定向数据采集系统，其中所述的第一传感器包括至少两种不同的智能体，所述两种不同的智能体影响所述第一传感器的数据采集行为。 

6.如权利要求1所述的定向数据采集系统，其中所述的第一方式代表失活传感器状态，所述第二方式代表激活传感器状态。 

7.如权利要求6所述的定向数据采集系统，其中所述的第一传感器仅在所述第一传感器接收信息后由所述失活传感器状态进入所述激活传感器状态。 

8.如权利要求1所述的定向数据采集系统，其中所述的第一传感器配置为测量温度、电压和电流之一。 

9.如权利要求1所述的定向数据采集系统，其中所述的第一传感器包括配置为处理由所述第一传感器采集的数据的处理器。 

10.如权利要求9所述的定向数据采集系统，其中所述的处理器配置为从所述第一传感器采集的数据生成统计数据。 

11.如权利要求1所述的定向数据采集系统，其中所述第三组数据代表配方开始信号和配方终止信号之一。 

12.在等离子处理系统内采集基底处理数据的方法，该方法包括： 

在多个传感器处提供多个智能体，从而使所述多个传感器中的每个传感器受到所述多个智能体的至少一个智能体的至少部分控制，其中包括至少一个第一传感器和一个第二传感器的所述多个传感器被布置在所述等离子处理系统的不同元件上； 

执行所述第一传感器中的至少一个第一智能体，所述第一智能体定义至少一个第一条件和一个第二条件，所述第一条件要求所述第一传感器在所述第一智能体被激活时以第一方式采集第一组数据，所述第二条件要求所述第一传感器在第一智能体被激活时以不同于所述第一方式的第二方式采集第二组数据； 

执行所述第二传感器中的至少一个第二智能体以控制所述第二传感器的数据采集行为，所述第二传感器包括至少一个第二智能体，所述第二智能体定义至少一个第三条件，所述第三条件要求所述第二传感器在所述第二智能体被激活时以第三方式采集第三组数据；和 

保持所述第二智能体失活至所述第一智能体触发所述第一传感器以所述第二方式采集所述第二组数据。