[发明专利]光波导的制造方法

权利要求书

1.光波导的制造方法，该光波导的制造方法包括：

使在基体材料上形成的、用于形成包层的树脂固化，从而形成下部包层的工序；

在该下部包层上层压用于形成芯层的树脂薄膜，从而形成芯层的工序；

将该芯层曝光和显影，从而形成芯图案的工序；以及，

将为了埋入该芯图案而形成的、用于形成包层的树脂固化，从而形成上部包层的工序；

其特征在于，所述形成芯层的工序包括：

(1)使用辊压层合机将用于形成芯层的树脂薄膜暂时贴合到下部包层上的工序，以及，

(2)在减压氛围下热压粘合该暂时贴合的用于形成芯层的树脂薄膜的工序。

2.根据权利要求1所述的光波导制造方法，其特征在于，在上述工序(1)中，作为辊压层合机，使用具有加热辊的层压机，热压粘合用于形成芯层的树脂薄膜，将其暂时贴合在下部包层上。

3.根据权利要求1或2所述的光波导制造方法，其特征在于，在上述工序(2)中，使用平板型层压机，在减压氛围下热压粘合经过上述工序(1)暂时贴合的用于形成芯层的树脂薄膜。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光波导制造方法，其特征在于，所述的下部包层的在层合芯层一侧的表面上没有形成高低差异。