[发明专利]卷绕式真空成膜方法及卷绕式真空成膜装置

权利要求书

1.一种卷绕式真空成膜方法，其是在减压气氛中一边使基膜移动一边向上述基膜进行成膜的卷绕式真空成膜方法，其特征在于，

一边在非冷却状态下使冷却用辊转动，一边使清洁单元与上述冷却用辊接触以清洁上述冷却用辊，

在完成上述冷却用辊的清洁之后，解除上述清洁单元与上述冷却用辊的接触状态，

冷却上述冷却用辊，一边使上述基膜与上述冷却用辊紧密贴合，一边向上述基膜进行成膜。

2.根据权利要求1所述的卷绕式真空成膜方法，其特征在于，从外部远程操作上述清洁单元相对于上述冷却用辊的接触及解除接触动作。

3.一种卷绕式真空成膜装置，其是在减压气氛中一边使基膜移动一边向上述基膜进行成膜的卷绕式真空成膜装置，其特征在于，该卷绕式真空成膜装置包括：

真空室；

在上述真空室内使上述基膜移动的移动装置；

与移动的上述基膜紧密贴合并冷却上述基膜的冷却用辊；

与上述冷却用辊相向配置并向上述基膜进行成膜的成膜装置；

与上述冷却用辊相接触并清洁上述冷却用辊的清洁单元；及

使上述清洁单元相对于上述冷却用辊进行付着脱离动作的驱动机构，

上述驱动机构在上述冷却用辊的非冷却状态下，使上述清洁单元与上述冷却用辊接触，完成上述冷却用辊的清洁后，解除上述清洁单元与上述冷却用辊的接触状态。

4.根据权利要求3所述的卷绕式真空成膜装置，其特征在于，上述清洁单元包括清洁上述冷却用辊周面的第一清洁辊、及清洁上述第一清洁辊的第二清洁辊。

5.根据权利要求4所述的卷绕式真空成膜装置，其特征在于，上述第一清洁辊是弹性辊，上述第二清洁辊是粘附辊。