[发明专利]具有分离间隙阀门密封隔间的负载锁定室

权利要求书

1.一种负载锁定室，其至少包含：

一主要组合件，其具有一基板输送腔及贯穿该主要组合件形成的二基板进接端口，该二基板进接端口流体耦合至该腔；

一第一间隙阀门密封隔间，其具有一孔排列于邻近该些进接端口之一者并与之成一直线，该第一间隙阀门密封隔间和该主要组合件分离；

一间隙阀门，其耦合至该第一间隙阀门密封隔间，并且可以操作以开启和关闭该孔；以及

一密封组合件，其将该第一间隙阀门密封隔间耦合至该主要组合件。

2.根据权利要求1所述的负载锁定室，其中该密封组合件至少更包含：

一带状外型的垫片，其具有一第一侧边缘及一第二侧边缘，该第一侧边缘靠着该主要组合件夹合，该第二侧边缘靠着该第一间隙阀门密封隔间夹合。

3.根据权利要求2所述的负载锁定室，其中该带状为环状且可挠曲。

4.根据权利要求2所述的负载锁定室，其中该带状至少更包含：

一第一多个洞，其沿着该第一侧边缘排列；以及

一第二多个洞，其沿着该第二侧边缘排列。

5.根据权利要求4所述的负载锁定室，其至少更包含：

至少一第一夹块，其由紧固件耦合而通过该第一多个洞至该主要组合件；以及

至少一第二夹块，其由紧固件耦合而通过该第二多个洞至该第一间隙阀门密封隔间。

6.根据权利要求1所述的负载锁定室，其中该密封组合件至少更包含：

一大致上矩形的管，其围绕该间隙阀门隔间的孔。

7.根据权利要求4所述的负载锁定室，其中该带状至少更包含：

一第一环状脊，其由该带状延伸，并且位于该第一多个洞和该第二多个洞之间；以及

一第二环状脊，其由该带状延伸，并且位于该第一多个洞和该第二多个洞之间。

8.根据权利要求2所述的负载锁定室，其中该带状至少更包含：

一环状波浪，其介于该第一及第二侧边缘之间。

9.根据权利要求1所述的负载锁定室，其中该主要组合件及该第一间隙阀门密封隔间至少更包含：

多个对向侧，其由该密封组合件耦合，其中该些对向侧共同形成一阶梯式凹部，该密封组合件设置于该凹部的一上方部分中，该凹部的一下方部分设置于该密封组合件及被该密封组合件围绕的基板进接端口之间。

10.根据权利要求9所述的负载锁定室，其中介于该凹部的上方及下方部分的一界面为圆角。

11.根据权利要求1所述的负载锁定室，其至少更包含：

多个石英管，其延伸至该主要组合件内；以及

一灯，其设置于每一管中。

12.根据权利要求1所述的负载锁定室，其至少更包含：

一第一夹块，其将该密封组合件紧固至该主要组合件，面对该第一间隙阀门密封隔间的第一夹块的一下方转角为圆角；以及

一第二夹块，其将该密封组合件紧固至该第一间隙阀门密封隔间，面对该主要组合件的第二夹块的一下方转角为圆角。

13.根据权利要求1所述的负载锁定室，其至少更包含：

多个第一夹块，其将该密封组合件紧固至该主要组合件；以及

多个第二夹块，其将该密封组合件紧固至该第一间隙阀门密封隔间。

14.根据权利要求13所述的负载锁定室，其中该多个第一夹块至少更包含：

至少四个L型转角剖面。

15.根据权利要求13所述的负载锁定室，其中将该第一夹块设置于被该密封组合件围绕的基板进接端口中。

16.根据权利要求1所述的负载锁定室，其至少更包含：

一第二间隙阀门密封隔间，其具有一孔排列于邻近该些进接端口之一者并与之成一直线，该第二间隙阀门密封隔间和该主要组合件分离；以及

一第二密封组合件，其将该第二间隙阀门密封隔间耦合至该主要组合件。