[发明专利]用于检测和分类发弧的基于电流的方法和设备

权利要求书

1.一种在物理气相沉积处理中检测和分类发弧的方法，该方法包括：

监视等离子体产生设备的电源电压和电流；

当所述电压下降到预定第一电压阈值之下时，检测多个实例；

当所述电压下降到预定第一电压阈值之下时，计时每一实例的持续时 间；

当电流尖峰在预定第一电流阈值之上时，检测多个实例；

当电流尖峰在预定第一电流阈值之上时，计时每一实例的持续时间；

对电压下降和电流尖峰同时发生的每一实例，分配该实例第一类别；

对没有相应的同时发生的电流尖峰的一或多个电压下降具有低于第一 预定时间的累计持续时间的每一实例，分配该实例第二类别；

对没有相应的同时发生的电流尖峰的一或多个电压下降具有大于第一 预定时间的累计持续时间的每一实例，分配该实例第三类别；

对没有相应的同时发生的电压下降的一或多个电流尖峰具有低于第二 预定时间的累计持续时间的每一实例，分配该实例第四类别；以及

对没有对应的同时发生的电压下降的一或多个电流尖峰具有大于第二 预定时间的累计持续时间的每一实例，分配该实例第五类别。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括步骤：

决定电压是否为稳定模式、上升过渡模式和下降过渡模式的其中之一。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括步骤：

维持当电压是在稳定模式中时所发生的发弧事件的计数和对应的持续 时间；

维持当电压是在上升过渡模式中时所发生的发弧事件的计数和对应的 持续时间；以及

维持当电压是在下降过渡模式中时所发生的发弧事件的计数和对应的 持续时间。

4.根据权利要求1所述方法，还包括步骤：

计算第一类别的发弧事件实例的扫描能量。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括步骤：

在每次检测到电压下降到预定第一阈值之后的过渡保持周期内，禁止 检测预定第一阈值之下的电压下降；以及

在每次检测到预定第一阈值之上的电流尖峰之后的过渡保持周期内， 禁止检测预定第一阈值之上的电流尖峰。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括步骤：

在扫描循环期间调整预定第一电压阈值以追踪电源电压中的缓慢变 化。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，在时钟周期中测量所述电压下 降的持续时间和电流尖峰的持续时间。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括步骤：

当电压下降在预定第二电压阈值之下时，检测每一发弧事件实例；和

当电流尖峰在预定第二电流阈值之上时，检测每一发弧事件实例。