[发明专利]激光加工方法及激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工方法，其中，用于加工工件的2个激光束的波长或强度 至少一个互不相同，以波长和强度不同的顺序、通过同一个透镜来照射工件以 除去多个层，其特征在于，

当所述激光束和工件彼此相对地移动、且向工件照射所述激光束时，所述 2个激光束中的一个激光束透过用于反射另一个激光束的光学元件，以通过具 有共用的聚光透镜的光学系统来使得至少1个激光束经过聚光透镜的中心，由 此根据它们的相对移动方向改变激光束照射位置，使得2个激光束按所述顺序 照射工件。

2.用于实施如权利要求1所述的激光加工方法的装置，包括：

照射激光束的2个激光振荡器，该激光束的波长或强度至少一个互不相同，

使各个所述激光束和工件彼此相对移动、且使所述激光束或者工件之中的 一个移动的工作台，

为了通过配置具有共用的聚光透镜的光学系统以使得至少1个激光束经过 聚光透镜的中心，将从2个激光振荡器照射的各个激光束通过同一个透镜来引 导至工件上的预定位置的光学系统，

所述光学系统之中的一个光学系统通过使各个激光束以波长和强度不同 的顺序照射工件的预定位置的调整装置来进行移动，从而能够根据各个所述激 光束和工件的相对移动方向以利用各个激光束来加工工件，

根据所述激光束与所述加工工件的相对移动方向，变更激光束的照射位 置，以使分割后的一个激光束与其它激光束按照所述顺序分别照射加工工件，

所述光学系统之中的另一个光学系统具有光学元件，该光学元件使由一个 光学系统所引导而来的一个激光束透过、且使另一个激光束反射。