[发明专利]用于使刻度尺保持在载体上的方法以及具有载体和刻度尺的装置

说明书

本发明涉及一种用于使刻度尺保持在载体上的方法。

为了测量两个设备部件的相对位置在一个设备部件上固定刻度 尺并且在另一相互运动的设备部件上固定扫描单元。在测量位置时由 扫描单元扫描刻度尺的测量分度。

为了高精度位置测量必需使刻度稳定且无偏移地固定在载体上。 在纳米和毫微米范围中的稳定性和偏移性要求特别短的力行程，它要 尽可能保持局限于接触面并且不包括刻度的整个厚度。

例如通过压紧力(原子的范德瓦尔斯力)实现短的、尽可能局限于 接触面的力行程。在此最好使用由玻璃或玻璃陶瓷制成的刻度尺，它 具有可忽略的膨胀系数。这些刻度尺能够良好工作，因此在这里通常 粘附在光学抛光的对应面上，如同在DE 101 53 147 A1中所描述的那 样。粘附是特别防漂移的刻度尺固定方法。在粘附时存在隐患，即刻 度尺会断开或者局部地松开。如果在边缘上产生交变负荷(例如由于加 速度或温度变化)并由此反复断开和激励这个边缘区，因此粘附的刻度 尺的外边缘可能是不稳定的。此外经粘附的刻度尺难以再与载体松开 并由此难以更换损坏的刻度尺。

另一已知的用于使刻度尺固定在载体上的方法是在支承面部位 中粘接。根据粘接剂的形式和粘接厚度由于粘接剂的蠕动过程可能 导致载体与刻度尺之间的应力，这导致在刻度尺中不可减少的长度 误差。例如由于粘接剂的老化、温度和空气湿度变化感应粘接剂中 的这种蠕动过程。粘接的刻度尺也难以再剥离，它们几乎不能无残 留地剥离。

本发明的目的是，给出一种方法，通过它可以使刻度尺尽可能防 漂移但是可拆卸地保持在载体上。

这个目的通过如权利要求1所述的方法得以实现。

本发明的另一目的是提供一种装置，它具有载体和可拆卸地保持 在其上而且稳定保持的刻度尺。

本发明的有利扩展结构在从属权利要求中给出。

由实施例的描述给出本发明的优点。下面借助于附图详细解释本 发明的这些实施例。

附图中：

图1以侧视图示出装置的第一实施例，它具有载体和固定在其上 的刻度尺，

图2以俯视图示出按照图1的装置，

图3以侧视图示出装置的第二实施例，它具有载体和固定在其上 的刻度尺，

图4以侧视图示出装置的第三实施例，它具有载体和固定在其上 的刻度尺，

图5以侧视图示出装置的第四实施例，它具有载体和固定在其上 的刻度尺，

图6以俯视图示出图5的装置，

图7以俯视图示出装置的第五实施例，它具有载体和固定在其上 的刻度尺，

图8以横截面图示出按照图7的装置，

图9以俯视图示出装置的第六实施例，它具有载体和固定在其上 的刻度尺，

图10以俯视图示出装置的第七实施例，它具有载体和固定在其 上的刻度尺，

图11以侧视图示出装置的第八实施例，它具有载体和固定在其 上的刻度尺，

图12以侧视图示出装置的第九实施例，它具有载体和固定在其 上的刻度尺，

图13以侧视图示出装置的第十实施例，它具有载体和固定在其 上的刻度尺，

图14以侧视图示出装置的第十一实施例，它具有载体和固定在 其上的刻度尺，

图15以俯视图示出装置的第十二实施例，它具有载体和固定在 其上的刻度尺，

图16以截面图示出按照图15的装置，

图17以侧视图示出装置的第十三实施例，它具有载体和固定在 其上的刻度尺，

图18以侧视图示出装置的第十四实施例，它具有载体和固定在 其上的刻度尺，

图19以侧视图示出装置的第十五实施例，它具有载体和固定在 其上的刻度尺。

本发明和与此相关的所有下面的实施例的基础是通过电磁夹 紧使刻度尺1固定在载体2上。这种电磁夹紧涉及两个相反加载物 体的拉紧。在此刻度尺1按照本发明通过直接静电夹紧固定在载体 2上。通过施加电压U直接在相互固定的物体、即刻度尺1与载体 2之间产生电位降。