[发明专利]用于使刻度尺保持在载体上的方法以及具有载体和刻度尺的装置

权利要求书

1.一种用于使具有测量分度(15)的刻度尺(1)保持在载体(2)上 的方法，其特征在于，所述刻度尺(1)通过静电夹紧保持在载体(2) 上。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过施加电压(U) 在刻度尺(1)的电极之间或在载体(2)的电极(211，212，213，214)之间 构成刻度尺(1)与载体(2)之间的电位差，该电位差产生保持力。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过在所述刻度 尺(1)的电极(212)与所述载体(2)的电极(211)之间施加电压(U)构成 刻度尺(1)与载体(2)之间的电位差，该电位差产生保持力。

4.如上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述 刻度尺(1)通过其它保持方法而附加地保持在载体(2)上。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述其它保持方 法是机械夹紧。

6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述其它保持方 法是粘附。

7.如上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述 静电夹紧的保持力根据位置而变化。

8.一种装置，其具有载体(2)且具有带测量分度(15)的刻度尺 (1)，其特征在于，所述刻度尺(1)可以通过静电夹紧保持在所述载 体(2)上。

9.如权利要求8中任一项所述的装置，其特征在于，所述刻 度尺(1)具有第一电极(212)并且所述载体(2)具有第二电极(211)，并 且可以在这两个电极(211，212)之间施加一个电压(U)，其中这样设 置并构成第一电极(212)和第二电极(211)，即，使得在施加电压(U) 时在第一电极(212)与第二电极(211)之间构成电位差，该电位差产 生保持力。

10.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述刻度尺(1) 或所述载体(2)之一具有第一电极(212)并且具有第二电极(211)，并 且可以在这两个电极(211，212)之间施加一个电压(U)，其中这样构 成所述刻度尺(1)或所述载体(2)中的另一元件，即，使得在施加电 压(U)时分别在第一电极(212)与该另一元件之间以及在第二电极 (211)与该另一元件之间构成电位差，该电位差产生保持力。

11.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述刻度尺(1) 或载体(2)中的所述另一元件具有第三电极(11)，其中这样构成并设 置电极(211，212，11)，即，使得在第一电极(212)与第二电极(211)之 间施加电压(U)时分别构成第一电极(212)与第三电极(11)之间以及 第二电极(211)与第三电极(11)之间的电位差，该电位差产生保持 力。

12.如权利要求10或11所述的装置，其特征在于，所述载体 (2)具有第一电极(212)以及第二电极(211)。

13.如权利要求11所述的装置，其特征在于，所述载体(2)具 有第一电极(212)以及第二电极(211)，并且所述刻度尺(1)具有第三 电极(11)。

14.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述第三电极 (11)是刻度尺(1)的不导电衬底(19)的导电层。

15.如上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，在刻 度尺(1)的电极(11)与载体(2)的电极(211，212)之间设置电介质 (12，22，4)。

16.如上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述 刻度尺(1)具有由玻璃或玻璃陶瓷制成的不导电的衬底(19)。

17.如上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，在多 个相互间隔的凸起(23)上实现刻度尺(1)与载体(2)之间的机械接触。

18.如权利要求17所述的装置，其特征在于，所述凸起(23) 设置在刻度尺(1)的Bessel点里面。