[发明专利]包括流体腔室阵列的夹具系统

权利要求书

1.一种固定基底的夹紧系统，所述系统包括：

夹具本体，所述夹具本体具有相反的第一侧和第二侧，所述第一侧包括流体腔室，

所述流体腔室包括间隔开的第一凹陷和第二凹陷，形成间隔开的第一支承区域和第二支承区域，所述第一支承区域环绕所述第二支承区域和所述第一凹陷和第二凹陷，所述第二支承区域环绕所述第二凹陷，所述基底抵靠所述第一支承区域和第二支承区域搁置，

所述第一凹陷和所述基底的与所述第一凹陷互相重叠的一部分形成第一腔室，而所述第二凹陷和所述基底的与所述第二凹陷互相重叠的一部分形成第二腔室；

所述第一腔室和所述第二腔室与不同的流体源流体连通，以控制所述流体腔室中的流体流动。

2.如权利要求1所述的夹紧系统，其特征在于，还包括：

压力控制系统，所述压力控制系统与所述第一腔室和第二腔室流体连通，以控制所述第一腔室和第二腔室内的压力，以使所述第一腔室和第二腔室中的一个腔室具有正压，而所述第一腔室和第二腔室的另一个腔室具有负压，其中，由于所述第一腔室和第二腔室中的一个腔室内的给定正压和所述第一腔室和第二腔室的另一个腔室内的负压，所述第一凹陷和第二凹陷之间的面积之比使得所述流体腔室对所述基底的与所述流体腔室重叠的一部分施加负的力。

3.如权利要求1或2所述的夹紧系统，其特征在于，还包括多个流体腔室。

4.如权利要求1、2或3所述的夹紧系统，其特征在于，还包括第一直通通道和第二直通通道，以便分别放置与所述压力控制系统流体连通的所述第一腔室和第二腔室。

5.如上述权利要求中任一项所述的夹紧系统，其特征在于，所述压力控制系统包括多个流体源。

6.如上述权利要求中任一项所述的夹紧系统，其特征在于，还包括成行列布置的流体腔室阵列，所述第一腔室的每一列和所述第二腔室的每一行与所述多个流体源的不同流体源流体连通，以控制所述流体腔室阵列中的流体流动。

7.如权利要求6所述的夹紧系统，其特征在于，所述流体腔室的列中的每个第一腔室与共同的流体源流体连通。

8.如权利要求6所述的夹紧系统，其特征在于，所述流体腔室的行中的每个第二腔室与共同的流体源流体连通。

9.如权利要求6所述的夹紧系统，其特征在于，所述流体腔室的列中的每个第一腔室与第一共同的流体源流体连通，其中，所述流体腔室的行中的每个第二腔室与不同于所述第一共同流体源的第二共同的流体源流体连通。

10.如权利要求6所述的夹紧系统，其特征在于，所述流体腔室阵列中的流体腔室对所述流体腔室阵列中的其余流体腔室是密封的。

11.如权利要求6所述的夹紧系统，其特征在于，还包括多个直通通道，所述第一腔室的每一列和所述第二腔室的每一行联接到不同的直通通道，以便使所述第一腔室和第二腔室与所述不同流体源流体连通。