[发明专利]版和使用该版的图案形成装置以及图案形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于例如平面型图像显示装置、布线电路板、IC标签等的制造的版、使用该版的图案形成装置以及图案形成方法。

背景技术

以往，作为在基体材料表面形成微细图案的技术，光刻技术起着中心作用。然而，此光刻技术在其分辨率和性能日益提高的反面，需要巨大且高额的制造设备，制造成本也随分辨率不断提高。

另一方面，不用说在半导体器件制造领域，在图像显示装置等的制造领域也都随着性能的改进，对低价格化的要求不断提高，所述光刻技术不能充分满足这种要求。这样的情况下，使用数字印刷技术的图案形成技术越来越受到关注。

针对这点，例如喷墨技术已作为发挥装置简便和非接触图案制作的特征的图案制作技术开始付诸实用，但不得不说在高分辨率化和高生产率方面存在极限。也就是说，在这方面，电子照相技术，尤其是使用湿墨(liquid toner)的电子照相技术，具有优良的可能性。

已提出使用这种电子照相技术形成平板显示器用的正面基板的荧光层、黑底、滤色片等的方法(例如参考日本专利特开2004-30980号公报、日本专利特开平6-265712号公报)。

平板显示器领域中，高分辨率化的要求日益提高，要求以较高的位置精度形成高分辨率的图案。然而，上述电子照相系统难以解答此课题。其原因在于，写入光学系统的分辨率最高也不过1200dpi的程度，分辨率和定位上不足。还存在不能实现可适应近年大画面的宽幅的写入光学系统的课题。

针对这点提出的一种方法使用表面预先形成电阻不同的图案的静电印刷板以代替感光体，并使湿墨作用于该板，对图案进行显影，将该图案复制到玻璃板，从而在显示器用前玻璃上形成荧光体等的图案(例如参考日本专利特表2002-527783号公报)。

为了采用此方法在玻璃板上形成分辨率高的高清晰图案像，需要高清晰地在静电印刷板上预先形成电阻不同的图案，并需要将图案显影后得到的图案像可靠地复制到玻璃板，而且可靠地清理残留在图案复制后的静电印刷板的调色剂。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能形成分辨率高的高清晰图案的版、使用该版的图案形成装置和图案形成方法。

为了达到上述目的，本发明的版具有：保持基于带电的显影剂的图案的保持部，使电场作用于被该保持部保持的所述图案用的第1电极，以及产生作用于被所述保持部保持的所述图案的超声波的超声波产生部。

根据上述发明，将保持部保持的基于显影剂的图案复制到被复制介质时，在供给显影剂的供给构件与第1电极之间形成电场，从版往被复制介质对保持部的图案加力，并使超声波产生部动作，将超声波作用于保持部的图案，从而可让图案从版的保持部剥离并复制到被复制介质，能可靠地将图案复制到被复制介质。

又，根据上述发明，清理复制图案后残留在版的保持部的显影剂时，在清理装置与版的第1电极之间形成电场，对保持部残留的显影剂往清理装置方向加力，并使超声波产生部动作，将超声波作用于残留在保持部的显影剂，从而可使残留的显影剂从版的保持部剥离并去除，能可靠地清理版上残留的显影剂。

又，本发明的版具有：具有表面开口的图案状凹部的高电阻层、设在此高电阻层的背面侧的第1电极层、设在此第1电极层的背面侧的压电体层、设在此压电体层的背面侧的第2电极层、以及所述第1电极层与所述第2电极层之间供给交流电压、从所述压电体层产生超声波的超声波产生部。

又，本发明的图案形成装置具有：包含保持基于带电的显影剂的图案的保持部、使电场作用于被该保持部保持的所述图案用的第1电极、以及产生作用于被所述保持部保持的所述图案的超声波的超声波产生部的版，通过与所述保持部对置的供给构件将带电的显影剂供给所述保持部并在所述供给构件与所述第1电极之间形成电场以在所述保持部形成基于显影剂的图案的显影装置，在与保持所述图案的所述保持部对置的被复制介质和所述第1电极之间形成电场对所述图案往所述被复制介质的方向加力且通过所述超声波产生部使超声波作用于所述图案从而将所述图案从所述保持部剥离并复制到所述被复制介质的复制装置，以及清理将所述图案复制到所述被复制介质后的所述保持部的清理装置。