[发明专利]版和使用该版的图案形成装置以及图案形成方法

权利要求书

1.一种版，其特征在于，具有：

保持基于带电的显影剂的图案的保持部；

使电场作用于此保持部保持的所述图案用的第1电极；以及

产生作用于所述保持部保持的所述图案的超声波的超声波产生部。

2.如权利要求1所述的版，其特征在于，所述保持部具有能容纳所述显影剂的图案状的凹部。

3.如权利要求1所述的版，其特征在于，将所述第1电极设在所述凹部的底部。

4.如权利要求3所述的版，其特征在于，所述超声波产生部具有设在所述第1电极的背面侧的压电体和与所述第1电极协作使所述压电体动作用的第2电极。

5.如权利要求1所述的版，其特征在于，设置在圆柱体的周面。

6.一种版，其特征在于，具有：

具有表面开口的图案状凹部的高电阻层；

设在此高电阻层的背面侧的第1电极层；

设在此第1电极层的背面侧的压电体层；

设在此压电体层的背面侧的第2电极层；以及

在所述第1电极层与所述第2电极层之间供给交流电压、从所述压电体层产生超声波的超声波产生部。

7.一种图案形成装置，其特征在于，具有：

包含保持基于带电的显影剂的图案的保持部、使电场作用于此保持部保持的所述图案用的第1电极、以及产生作用于所述保持部保持的所述图案的超声波的超声波产生部的版；

通过与所述保持部对置的供给构件将带电的显影剂供给所述保持部并在所述供给构件与所述第1电极之间形成电场以在所述保持部形成基于显影剂的图案的显影装置；

在与保持所述图案的所述保持部对置的被复制介质和所述第1电极之间形成电场对所述图案往所述被复制介质的方向加力、且通过所述超声波产生部使超声波作用于所述图案、从而将所述图案从所述保持部剥离并复制到所述被复制介质的复制装置；以及

清理将所述图案复制到所述被复制介质后的所述保持部的清理装置。

8.如权利要求7所述的图案形成装置，其特征在于，所述清理装置在其与所述第1电极之间形成电场，吸引残留在所述保持部的显影剂，并加力在所述超声波产生部，使超声波作用于所述残留的显影剂，将其从所述保持部剥离。

9.如权利要求7或8所述的图案形成装置，其特征在于，所述保持部具有能容纳所述显影剂的图案状的凹部。

10.如权利要求9所述的图案形成装置，其特征在于，将所述第1电极设在所述凹部的底部。

11.如权利要求10所述的图案形成装置，其特征在于，所述超声波产生部具有设在所述第1电极的背面侧的压电体和与所述第1电极协作使所述压电体动作用的第2电极。

12.如权利要求7中所述的图案形成装置，其特征在于，将所述版设置在圆柱体的周面。

13.一种图案形成装置，其特征在于，包括：

版，该版包括：具有表面开口的图案状凹部的高电阻层、设在此高电阻层的背面侧的第1电极层、设在此第1电极层的背面侧的压电体层、设在此压电体层的背面侧的第2电极层、以及对所述第1电极层与所述第2电极层之间供给交流电压从所述压电体层产生超声波的超声波产生部；

显影装置，该显影装置通过与所述高电阻层的表面对置的供给构件将散布带电的显影粒子的液体显影剂供给该表面，并在所述供给构件与所述第1电极层之间形成电场，使所述液体显影剂中的显影粒子汇集到所述凹部以对图案进行显影；

复制装置，该复制装置在与所述高电阻层的表面对置的被复制介质和所述第1电极层之间形成电场，对在所述凹部汇集显影粒子的图案往所述被复制介质的方向加力，且通过所述超声波产生部使超声波作用于所述图案，将所述图案从所述凹部剥离并复制到所述被复制介质；以及

清理将所述图案复制到所述被复制介质后的所述凹部的清理装置。

14.如权利要求13所述的图案形成装置，其特征在于，所述清理装置在其与所述第1电极层之间形成电场，吸引残留在所述凹部的显影剂，并在所述超声波产生部加力，使超声波作用于所述残留的显影剂，将其从所述凹部剥离。

15.如权利要求13所述的图案形成装置，其特征在于，将所述第1电极层设在所述凹部的底部。