[发明专利]纵式基板运送装置及成膜装置

权利要求书

1.一种纵式基板运送装置，将基板以大致直立的姿势运送到处理室，其特征在于，备有：

可处理上述基板的任意面地支承着上述基板的托架；

将上述基板移载到上述托架上的装入机构；

变换上述托架的运送姿势的姿势变换机构；

收容上述已变换了姿势的托架并将该托架运送到上述处理室的运送室；

处理上述基板的一面的上述处理室，

上述姿势变换机构具有第1旋转机构和第2旋转机构，

上述第1旋转机构使上述托架绕铅直方向旋转，以此变换上述基板的运送姿势，

上述第2旋转机构能够以呈两列并列的状态收容上述托架，

通过上述第1旋转机构以上述基板的成膜面分别朝外的方式变换了姿势的托架，被运送到上述第2旋转机构，上述第2旋转机构将收载成两列的托架同时向上述运送室运送。

2.如权利要求1所述的纵式基板运送装置，其特征在于，上述托架，是包围上述基板周围的框状，并且在内周侧具有夹持上述基板的缘部的夹持机构。

3.如权利要求1所述的纵式基板运送装置，其特征在于，上述装入机构和上述姿势变换机构设置在大气中，上述处理室内排气成真空，上述运送室是荷载锁定室。

4.如权利要求1所述的纵式基板运送装置，其特征在于，上述处理室，是备有配置在上述托架行进方向两侧方的一对溅射阴极的成膜室。

5.一种成膜装置，备有将基板以大致直立的姿势运送到成膜室的纵式基板运送机构，其特征在于，上述纵式基板运送机构备有：

可对上述基板的任意面进行成膜地支承着上述基板的托架；

能够变换上述托架的运送姿势的姿势变换机构；

收容上述已变换了姿势的托架并将该托架运送到上述成膜室的运送室；并且，

上述成膜室，备有配置在上述托架行进方向两侧方的一对成膜源，

上述姿势变换机构具有第1旋转机构和第2旋转机构，

上述第1旋转机构使上述托架绕铅直方向旋转，以此变换上述基板的运送姿势，

上述第2旋转机构能够以呈两列并列的状态收容上述托架，

通过上述第1旋转机构以上述基板的成膜面分别朝外的方式变换了姿势的托架，被运送到上述第2旋转机构，上述第2旋转机构将收载成两列的托架同时向上述运送室运送。

6.如权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，上述成膜源是溅射阴极。