[发明专利]包括冷却循环路径的基板搬运机器人的驱动设备

权利要求书

1.一种用于在真空环境下搬运基板的容纳一组臂的机器人的驱 动设备，包括：

齿轮设备，用于驱动以旋转所述组的臂，所述齿轮设备布置在大 气侧和真空侧之间并且在所述大气侧被驱动，使得所述齿轮设备在所 述大气侧被驱动；

真空密封件，设置在固定构件和输出构件之间；和

油密封件，在所述固定构件和所述输出构件之间布置在所述真空 密封件的所述大气侧上，使得所述真空密封件和所述油密封件在所述 固定构件和所述输出构件之间形成环状空间；

其中，形成冷却循环路径，使得所述固定构件设置有：从所述大 气侧到所述环状空间的所述冷却循环路径的供给口；和从所述环状空 间到所述大气侧的所述冷却循环路径的排出口。

2.根据权利要求1所述的用于搬运基板的机器人的驱动设备，还 包括：驱动马达；输出传动轴，包含在外壳的内周侧中使得所述真空 密封件与其接触；和减速器，用于将所述驱动马达的输出旋转通过减 小其速度而传递到所述输出传动轴，

其中所述减速器包括：外齿齿轮构件；多个凸轮轴，插入到所述 外齿齿轮构件的孔中；和内齿齿轮构件，其内周与所述外齿齿轮构件 的外周啮合。

3.根据权利要求2所述的用于搬运基板的机器人的驱动设备，其 中通过整体地联结所述外壳和所述内齿齿轮构件构成所述固定构件， 并且所述输出构件包括所述输出传动轴。

4.根据权利要求1所述的用于搬运基板的机器人的驱动设备，其 中另一个油密封件设置成与所述油密封件相对。

5.根据权利要求1所述的用于搬运基板的机器人的驱动设备，其 中所述真空密封件包括：主唇部，接触所述输出构件的外周；弹性构 件，用于施加接触力到所述主唇部；和装配部分。

6.一种用于在真空环境下搬运基板的容纳一组臂的机器人的驱 动设备，包括：

齿轮设备，用于驱动以旋转所述组的臂，所述齿轮设备布置在大 气侧和真空侧之间并且在所述大气侧被驱动，使得所述齿轮设备在所 述大气侧被驱动；

真空密封件，设置在固定构件和输出构件之间；和

油密封件，在所述固定构件和所述输出构件之间设置在所述真空 密封件的所述大气侧上，使得所述真空密封件和所述油密封件在所述 固定构件和所述输出构件之间形成环状空间；

其中，用于将由所述真空密封件和所述油密封件形成的所述环状 空间分成两个分开的部分的另一密封件设置在所述固定构件和所述输 出构件之间，并且

形成冷却循环路径，使得所述固定构件设置有：从所述大气侧到 所述分开的部分中的一个部分上的所述环状空间的所述冷却循环路径 的供给口；和从所述分开的部分中的另一个部分上的所述环状空间到 所述大气侧的所述冷却循环路径的排出口，并且

所述输出构件设置有：旋转供给路径，与所述分开的部分中的一 个部分上的所述环状空间连通；和旋转排出路径，与所述分开的部分 中的另一个部分上的所述环状空间连通，

所述旋转供给路径和所述旋转排出路径向臂构件打开，从而冷却 所述臂构件。

7.根据权利要求6所述的用于搬运基板的机器人的驱动设备，其 中，所述环状空间的所述分开的部分中的所述一个部分是所述真空侧 上的环状空间，并且所述环状空间的所述分开的部分中的所述另一个 部分是所述大气侧上的环状空间。

8.根据权利要求6所述的用于搬运基板的机器人的驱动设备，还 包括：驱动马达；输出传动轴，包含在外壳的内周侧中使得所述真空 密封件与其接触；和减速器，用于将所述驱动马达的输出旋转通过减 小其速度而传递到所述输出传动轴，

其中，所述减速器包括：外齿齿轮构件；凸轮轴，插入到所述外 齿齿轮构件的孔中；和内齿齿轮构件，其内周与所述外齿齿轮构件的 外周啮合。

9.根据权利要求8所述的用于搬运基板的机器人的驱动设备，其 中通过整体地联结所述外壳和所述内齿齿轮构件构成所述固定构件， 并且所述输出构件包括所述输出传动轴。

10.根据权利要求6所述的用于搬运基板的机器人的驱动设备， 其中所述真空密封件包括：主唇部，接触所述输出构件的外周；弹性 构件，用于施加接触力到所述主唇部；和装配部分。