[发明专利]用于调度半导体批次的系统

说明书

技术领域

本公开内容涉及在半导体处理中调度批次(lot)。更具体地，本公开内容涉及为了操作员的检查而显示半导体处理工具的调度逻辑。

背景技术

在半导体制造中，每个半导体都是作为半导体批次或组(下文称为“批次”)的一部分形成的。半导体批次由多个不同的处理工具来处理。

将半导体批次安排或调度到处理工具是一个动态过程。例如，在制造过程、原材料、处理工具和其他变量方面的条件可能改变，这导致了需要将半导体批次动态调度到处理工具。

每个处理工具根据一个或多个过程规则对半导体批次执行特定的制造过程。该过程规则由服务管理器施加，该服务管理器通常称作实时调度服务管理器或“管理器”。该服务管理器是关于将要采取的适当调度步骤(例如，特定批次应该传递到哪个工具)做出决定的自动系统。而且，服务管理器考虑操作员输入的覆盖(override)条件或过滤器。

服务管理器基于每个工具的操作特性以及其与给定批次发生关系的方式来应用调度规则。调度规则可能出于多种原因从调度列表(即，列出将要由工具处理的批次的列表)中移除批次。这些原因包括：工具设置优化、等待批量逻辑更新或对管理器上的在制品(WIP)平衡要求做出补偿。

在某些情况中，调度规则和/或过滤器有意地使批次不被处理，从而使工具空闲一段时间。然而，工具的用户/操作员无法分辨具有空的调度列表的工具是被有意设计为空闲状态，还是应该做些事情以使一个或多个批次可调度到该工具。

对于调度规则的逻辑的可视性不是实时可用的，因为已经将服务管理器优化为快速执行调度规则。对于制造操作来说，了解批次不能被调度的原因是重要的，因为一旦了解了原因，就可以知道做什么可以使空闲的批次可用以及更好地利用工具。

因此，本申请已经确定的是需要一种实时显示以利用解释代码来示出被调度的批次的状态。

发明内容

提供了一种用于在多个工具之间调度多个半导体批次的系统。所述系统包括调度服务器管理器以及调度综合器和显示设备。调度综合器和显示设备向所述管理器传递调度请求，并且从所述管理器接收调度列表。所述管理器查询所述多个半导体批次的处理状态并且显示调度列表以响应所述处理状态。所述调度列表包括与所述处理状态有关的相关原因和/或代码。

还提供了一种用于在多个工具之间调度多个半导体批次的系统，所述系统包括调度综合器和显示器、调度服务管理器和解释基础设施。所述调度服务管理器将所述多个半导体批次调度到多个调度器。所述调度服务管理器与所述调度综合器和显示器进行电通信。所述解释基础设施与所述调度服务管理器进行通信。所述解释基础设施从所述调度服务管理器向所述调度综合器和显示器导出信息。所述信息包括所述多个半导体批次的调度状态。

还提供了一种用于处理半导体批次的方法。所述方法包括对具有过滤器的调度服务器管理器进行编程，控制所述调度服务器管理器来根据所述过滤器确定是否在多个调度器中的至少一个调度器上调度所述半导体批次，以及如果所述调度服务器管理器没有调度所述半导体批次，则控制所述调度服务器管理器在预定的时间帧内输出原因代码。

本发明还包括存储在计算机可读介质中的计算机程序产品，所述程序产品包括用于执行本发明方法的计算机可执行代码。本发明还包括在计算系统中部署本发明的计算机程序产品的方法。

在下面，将更详细地描述本发明的这些和其他方面。

附图说明

图1示出了根据本公开内容的系统的示例性实施方式；

图2是根据本公开内容的用于实时的不可调度批次的解释的方法：

图3示出了根据本公开内容的调度服务器管理器的示例性实施方式；以及

图4示出了根据本公开内容的输出表格的示例性实施方式。

具体实施方式

参考附图，尤其参考附图1，示出了用于调度半导体批次的系统的示例性实施方式(“系统100”)。有优势地，系统100包括解释基础设施105，该解释基础设施105实时生成被调度的批次的状态以及关于该状态的解释代码，以便显示给操作员。因此，系统100允许用户修正和/或覆盖系统内的规则以便提高制造吞吐量。