[发明专利]用于调度半导体批次的系统

权利要求书

1.一种用于在多个工具之间调度多个半导体批次(155、160)的系统(100)，所述系统包括：

调度服务器管理器(120)；以及

调度综合器和显示设备(110)，用于将调度请求(115)传递到所述管理器并且从所述管理器接收调度列表(125)，

其中，所述管理器查询所述多个半导体批次的处理状态并且显示调度列表以响应所述处理状态，其中所述调度列表包括与所述处理状态有关的相关原因和/或代码。

2.根据权利要求1所述的系统，进一步包括耦合至所述管理器的解释基础设施(105)，所述解释基础设施包括文件收集器(170)，其收集来自于所述管理器的关于所述处理状态的判决。

3.根据权利要求2所述的系统，其中所述文件收集器将所述相关原因和/或代码保存在解释文件(175)中。

4.根据权利要求3所述的系统，其中所述解释文件包括对所述多个工具的传感器读取内容。

5.根据权利要求3所述的系统，其中所述解释基础设施经由解释报告出口(180)将所述解释文件导出到所述调度综合器和显示设备。

6.根据权利要求5所述的系统，其中所述解释报告出口包括JAVA编程的出口。

7.根据权利要求3所述的系统，其中所述解释文件包括选择自这样的组中的数据，所述组包括调度工具标识符信息、批次标识符信息、调度时间信息、解释代码信息、解释原因信息、批次细节信息以及它们的任何组合。

8.一种用于调度多个半导体批次(155、160)的系统(100)，所述系统包括：

调度综合器和显示设备(110)；

调度服务器管理器(120)，用于将所述多个半导体批次调度到多个调度器(130、135、140)，所述调度服务器管理器与所述调度综合器和显示设备进行电通信，其中所述管理器查询所述多个半导体批次的处理状态并且显示调度列表以响应所述处理状态，其中所述调度列表包括与所述处理状态有关的相关原因和/或代码；以及

解释基础设施(105)，其与所述调度服务器管理器进行通信，所述解释基础设施从所述调度服务器管理器向所述调度综合器和显示设备导出信息(175)，所述信息包括所述多个半导体批次的调度状态。

9.根据权利要求8所述的系统，进一步包括用于根据所述信息更新所述调度服务器管理器的用户输入。

10.根据权利要求8所述的系统，其中所述信息包括选择自这样的组中的数据，所述组包括调度工具标识符信息、批次标识符信息、调度时间信息、解释代码信息、解释原因信息、批次细节信息以及它们的任何组合。

11.一种处理半导体批次(155、160)的方法，包括：

对具有过滤器(310、315、320)的调度服务器管理器(120)进行编程；

控制所述调度服务器管理器来根据所述过滤器确定是否在多个调度器(130、135、140)中的至少一个调度器上调度所述半导体批次；以及

如果所述调度服务器管理器没有调度所述半导体批次，则控制所述调度服务器管理器在预定的时间帧内输出原因代码。

12.根据权利要求11所述的方法，进一步包括控制所述调度服务器管理器将所述原因代码(180)输出到显示设备(110)。

13.根据权利要求12所述的方法，进一步包括：

由用户评估所述原因代码；以及

由所述用户根据所述原因代码改变所述过滤器。

14.根据权利要求13所述的方法，其中改变所述过滤器包括删除所述过滤器。

15.根据权利要求11所述的方法，其中所述原因代码包括选择自这样的组中的数据，所述组包括调度工具标识符信息、批次标识符信息、调度时间信息、解释代码信息、解释原因信息、批次细节信息以及它们的任何组合。

16.根据权利要求11所述的方法，进一步包括在所述调度服务器管理器处接收调度请求(115)。

17.根据权利要求11所述的方法，进一步包括在所述调度服务器管理器输出所述原因代码之前将所述原因代码存储在文件中。