[实用新型]一种炉体无效
申请号: | 200720187500.6 | 申请日: | 2007-12-26 |
公开(公告)号: | CN201144301Y | 公开(公告)日: | 2008-11-05 |
发明(设计)人: | 李丽文;张郁兵;王春苗 | 申请(专利权)人: | 北京古德高机电技术有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京方韬法业专利代理事务所 | 代理人: | 杨聚楼;吴景曾 |
地址: | 100024北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 | ||
技术领域
本实用新型涉及冶炼技术领域,尤其涉及一种炉体。
背景技术
多晶硅是提取单晶硅的原材料,多晶硅材料在炉体主室里,在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅材料熔化,用直拉法生长无错位单晶,成行后需要提拉单晶硅炉副室和主室盖。其原理也适用于多晶硅的生产过程。
目前主要使用卷扬机和钢丝绳来提拉单晶硅炉副室和主室盖,由于钢丝绳是柔性传动,当提拉时,会产生晃动,使副室里的单晶硅断裂,并且两根钢丝绳受力不均,会使副室产生倾斜,同样会使单晶硅或多晶硅产生断裂,而且钢丝绳没有行程限制,不能使副室和主室盖准确定位。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种炉体,用于生产单晶硅或者多晶硅,不但可以保证单晶硅、多晶硅产品的质量和安全,而且可以很好地控制副室和主室盖的行程。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种炉体,用于生产单晶硅或者多晶硅,包括副室1、主室盖2、主室3、副室筒8、主室盖筒9和电动推杆6,所述副室筒的下半部中空,所述主室盖筒为中空的筒件,所述副室通过支撑架和所述副室筒固定,所述主室盖通过支撑架与所述主室盖筒固定,所述电动推杆可以穿过所述主室盖筒与所述副室筒接触,所述副室筒、主室盖筒和电动推杆位于同一条直线上,并与所述副室、主室盖、主室平行。
所述电动推杆进一步包括顶杆7、电机4和推动装置5,所述电机和所述推动装置连接,用于带动所述推动装置,所述顶杆下端连接所述推动装置,上端穿在所述主室盖筒的内部。
所述推动装置进一步包括减速机、丝杠、螺母和外套筒,所述减速机和所述电机连接,所述丝杠一端连接所述减速机,另一端安装所述螺母,所述螺母与所述顶杆一端通过螺纹连接,用于顶动所述顶杆,所述外套筒位于所述丝杠、螺母和顶杆的外部。
所述外套筒上安装第一行程开关10和第二行程开关11,用于限定所述螺母的位移。
所述顶杆为凸字型杆件,上端直径小于所述主室盖筒的内径和所述副室筒的下半部内径,下端直径大于所述主室盖筒的内径。
所述顶杆进一步包括顶杆底座和接杆12,所述顶杆底座和所述接杆通过卡销连接,所述顶杆底座直径大于所述主室盖筒的内径,所述接杆直径小于所述主室盖筒的内径和所述副室筒的下半部内径。
采用了本实用新型的技术方案,由于电动推杆是刚性传动,可以使炉体中副室和主室盖升起、放下速度平稳,不易产生晃动,且能保持直线升降,多晶硅和单晶硅产品质量和安全均可以得到保证;电动推杆的行程控制,实现了到极限位置自动停止运动,提高了多晶硅和单晶硅提拉移动位置的可靠性。
附图说明
图1是本实用新型具体实施方式中炉体的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
本实用新型的主要思想就在于,将电动推杆运用在单晶硅炉或多晶硅炉上,以推动副室或者主室盖,因此将电动推杆和单晶硅炉或多晶硅炉相结合都属于本实用新型的保护范围之内。
图1是本实用新型具体实施方式中炉体的结构示意图。如图1所示,该用于生产单晶硅或者多晶硅的炉体包括副室1、主室盖2、主室3、副室筒8、主室盖筒9和电动推杆6,电动推杆进一步包括顶杆7、电机4和推动装置5,推动装置进一步包括减速机、丝杠、螺母和外套筒,外套筒上安装第一行程开关10和第二行程开关11。
副室、主室盖和主室从上到下依次安装,与地面垂直,副室通过支撑架和副室筒固定在一起,主室盖通过支撑架与主室盖筒固定在一起,副室筒为下半部中空的筒体,主室盖筒为全部中空的筒件。电动推杆的顶杆为凸字型杆件,上端直径小于主室盖筒的内径和副室筒的下半部内径,下端直径大于主室盖筒的内径;或者顶杆进一步分为顶杆底座和接杆12,顶杆底座和接杆通过卡销连接,顶杆底座直径大于所述主室盖筒的内径,接杆直径小于所述主室盖筒的内径和所述副室筒的下半部内径。这样电动推杆的顶杆就可以穿过主室盖筒,插入副室筒的下半部,副室筒、主室盖筒和电动推杆位于同一条直线上,与地面垂直,从而也与副室、主室盖、主室平行。
电动推杆下部是电机和推动装置,上部是顶杆,电机和推动装置中的减速机连接,从而带动减速机转动,丝杠的下端连接在加速单元上,上端套着一个螺母,螺母通过螺纹固定顶杆,外套筒包围着丝杠、螺母和顶杆,在外套筒的上面安装了两个行程开关,第一行程开关在电动推杆下方,第二行程开关在电动推杆上方。
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