[实用新型]一种炉体无效
申请号: | 200720187500.6 | 申请日: | 2007-12-26 |
公开(公告)号: | CN201144301Y | 公开(公告)日: | 2008-11-05 |
发明(设计)人: | 李丽文;张郁兵;王春苗 | 申请(专利权)人: | 北京古德高机电技术有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京方韬法业专利代理事务所 | 代理人: | 杨聚楼;吴景曾 |
地址: | 100024北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 | ||
1、一种炉体,用于生产单晶硅或者多晶硅,其特征在于,包括副室(1)、主室盖(2)、主室(3)、副室筒(8)、主室盖筒(9)和电动推杆(6),所述副室筒的下半部中空,所述主室盖筒为中空的筒件,所述副室通过支撑架和所述副室筒固定,所述主室盖通过支撑架与所述主室盖筒固定,所述电动推杆可以穿过所述主室盖筒与所述副室筒接触,所述副室筒、主室盖筒和电动推杆位于同一条直线上,并与所述副室、主室盖、主室平行。
2、根据权利要求1所述的一种炉体,其特征在于,所述电动推杆进一步包括顶杆(7)、电机(4)和推动装置(5),所述电机和所述推动装置连接,用于带动所述推动装置,所述顶杆下端连接所述推动装置,上端穿在所述主室盖筒的内部。
3、根据权利要求2所述的一种炉体,其特征在于,所述推动装置进一步包括减速机、丝杠、螺母和外套筒,所述减速机和所述电机连接,所述丝杠一端连接所述减速机,另一端安装所述螺母,所述螺母与所述顶杆一端通过螺纹连接,用于顶动所述顶杆,所述外套筒位于所述丝杠、螺母和顶杆的外部。
4、根据权利要求3所述的一种炉体,其特征在于,所述外套筒上安装第一行程开关(10)和第二行程开关(11),用于限定所述螺母的位移。
5、根据权利要求2所述的一种炉体,其特征在于,所述顶杆为凸字型杆件,上端直径小于所述主室盖筒的内径和所述副室筒的下半部内径,下端直径大于所述主室盖筒的内径。
6、根据权利要求2所述的一种炉体,其特征在于,所述顶杆进一步包括顶杆底座和接杆(12),所述顶杆底座和所述接杆通过卡销连接,所述顶杆底座直径大于所述主室盖筒的内径,所述接杆直径小于所述主室盖筒的内径和所述副室筒的下半部内径。
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