[实用新型]用于湿制程设备上方排气的液气分离结构有效
| 申请号： | 200720183482.4 | 申请日： | 2007-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN201130283Y | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 李天立;邱炳彰;钟玉华 | 申请（专利权）人： | 均豪精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;H05K3/00;B05B15/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 湿制程 设备 上方 排气 分离 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于湿制程设备上方排气的液气分离结构，其形成在湿制程设备(10)的上方排气口(20)上，其特征在于，包含：集水沟槽(30)，所述集水沟槽(30)环设在所述上方排气口(20)与所述湿制程设备(10)的接缝处，并使所述上方排气口(20)的下缘处(21)正对所述集水沟槽(30)；水流管路(40)，所述水流管路(40)的一端连接所述集水沟槽(30)的低处位置，所述水流管路(40)的另一端朝低处延伸且设置在所述湿制程设备(10)之外。
2.根据权利要求1所述的液气分离结构，其特征在于，所述水流管路(40)于所述湿制程设备(10)之外的一端，设有快速接头(60)。
3.根据权利要求2所述的液气分离结构，其特征在于，所述快速接头(60)连接排水软管(70)。
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