[实用新型]晶圆研磨环结构

权利要求书

1、一种晶圆研磨环结构，包括环状基材以及研磨环体，该环状基材与研磨环体相对设有接着面，并通过接着剂料相结合固定，该环状基材上设有间隔排列的定位孔槽；其特征在于：

该环状基材上的定位孔槽为贯穿孔，所述定位孔槽一端贯通环状基材的接着面，所述接着剂料嵌入对应定位孔槽部位，并形成嵌入部。

2、根据权利要求1所述的晶圆研磨环结构，其特征在于：所述接着剂料对应各定位孔槽部位所形成的嵌入部，嵌入各定位孔槽部位的深度，通过塞体预先组入定位孔槽中，挡阻限制接着剂料，并控制嵌入部的深度。

3、根据权利要求2所述的晶圆研磨环结构，其特征在于：所述塞体为螺栓，定位孔槽设有与螺栓螺合的内螺纹。

4、根据权利要求1所述晶圆研磨环结构，其特征在于：所述研磨环体的接着面设有接着剂嵌入部，且该接着剂嵌入部为至少一道环形凹沟，呈放射状间隔排列且跨越各环形凹沟的长形凹槽。

5、一种晶圆研磨环结构，包括环状基材以及研磨环体，该环状基材与研磨环体相对设有接着面，并通过接着剂料相结合固定，该环状基材上设有间隔排列的定位孔槽；其特征在于：

该环状基材的接着面设有内凹孔槽，所述内凹孔槽一端贯通该环状基材的接着面，所述接着剂料嵌入对应各定位孔槽部位，并形成嵌入部。

6、根据权利要5所述的晶圆研磨环结构，其特征在于：该研磨环体的接着面设有接着剂嵌入部，且该接着剂嵌入部为至少一道环形凹沟，呈放射状间隔排列且跨越该各环形凹沟的长形凹槽。