[实用新型]气阀装置

权利要求书

1、一种气阀装置，为配置于半导体蚀刻薄膜制程的设备，用以控制反应室内蚀刻薄膜气体的流量，该装置包括阀体及驱动模组，所述驱动模组连接于阀体，用以控制并驱动阀体的启闭；其特征在于：驱动模组依序包括马达，行星式齿轮减速机及联轴器，以轴向直结方式串联，该联轴器末端连结有阀体。

2、如权利要求1所述的气阀装置，其特征在于，所述行星式齿轮减速机包括由马达带动的太阳齿轮，太阳齿轮的外缘透过一个或一个以上平均配置的行星齿轮与内齿轮啮合，借由该内齿轮旋转带动减速机的轴心运转。

3、如权利要求2所述的气阀装置，其特征在于，所述行星式齿轮减速机的轴心与联轴器直结，联轴器相对端连结转轴用以驱动阀体的运行。

4、如权利要求3所述的气阀装置，其特征在于，所述行星式齿轮减速机被定位在固定板上，其轴心穿出所述固定板。

5、如权利要求4所述的气阀装置，其特征在于，所述固定板定位行星式齿轮减速机的邻侧连结散热片。

6、如权利要求4所述的气阀装置，其特征在于，所述阀体配置在第一载板上，第一载板与固定板之间以一个或一个以上第一直立式支架撑持，在第一载板与固定板之间，透过第二直立式支架轴向支撑第二载板，第二载板载有感应器。

7、如权利要求1、2、3或4所述的气阀装置，其特征在于，所述行星式齿轮减速机与马达连结的输入端内部以中空式筒夹固定在该输入端，筒夹相邻所述行星式齿轮减速机输入端的一侧的壁面开设有一个或一个以上对称的长条孔，并在行星式齿轮减速机对应所述筒夹的外部以螺栓锁入。