[实用新型]一种制程设备辅助进气口无效
| 申请号： | 200720157134.X | 申请日： | 2007-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN201061929Y | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 巫吉生;张嘉原 | 申请（专利权）人： | 志圣工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B41F23/04 | 分类号： | B41F23/04 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 设备 辅助 进气口 | ||
【权利要求书】：
1.一种制程设备辅助进气口，其特征在于，其包括一处理区，所述处理区内设有一辅助进气部，所述辅助进气部上设有多个喷出辅助气流的辅助气孔。
2.如权利要求1所述的制程设备辅助进气口，其特征在于，所述辅助进气部系延伸有多个辅助气管，所述辅助气孔设置于所述辅助气管上。
3.如权利要求1或2所述的制程设备辅助进气口，其特征在于，所述辅助气孔呈大小不同的形态。
4.如权利要求1或2所述的制程设备辅助进气口，其特征在于，所述辅助气孔的方向可调整。
5.如权利要求3所述的制程设备辅助进气口，其特征在于，所述辅助气孔的方向可调整。
6.如权利要求1或2所述的制程设备辅助进气口，其特征在于，所述制程设备辅助进气口装置本体为一紫外线多层炉。
7.如权利要求3所述的制程设备辅助进气口，其特征在于，所述制程设备辅助进气口装置本体为一紫外线多层炉。
8.如权利要求4所述的制程设备辅助进气口，其特征在于，所述制程设备辅助进气口装置本体为一紫外线多层炉。
9.如权利要求5所述的制程设备辅助进气口，其特征在于，所述制程设备辅助进气口装置本体为一紫外线多层炉。
10.如权利要求2所述的制程设备辅助进气口，其特征在于，所述辅助进气部由同一侧或不同侧延伸出多个辅助气管。
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