[实用新型]处理废弃光刻胶的装置无效
申请号: | 200720149142.X | 申请日: | 2007-05-15 |
公开(公告)号: | CN201035319Y | 公开(公告)日: | 2008-03-12 |
发明(设计)人: | 朴成哲;黄福林 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;B05C11/10 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 100176北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 处理 废弃 光刻 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种处理废弃光刻胶(photoresist,以下简称:PR胶)的装置,特别是一种防止废弃的PR胶进入真空管道的装置。
背景技术
目前薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay,以下简称:TFT-LCD)生产中大体分为阵列,成盒,模块三大工序,而在阵列工序中又大体分为成膜,光刻,蚀刻三大工艺。其中,在阵列工艺中有一道工序是在玻璃基板上涂上PR胶,PR胶是一种感光后,其化学性质会改变的红色粘稠物,涂敷在玻璃基板上的光刻胶在高速旋转的状态下被均匀的涂在玻璃基板上,而在旋转完毕后,会有一部分PR胶被甩出去,该PR胶需要进行废弃处理。
如图3所示,为现有技术中一种处理废弃PR胶的装置。该装置12上部的一侧设有接入口21,该接入口21与接入管道11连接,废弃的PR胶被稀释剂(一种可以溶解PR胶的透明液体)溶解,溶解液随该接入管道11排到该装置12内,该装置12呈一立方体结构,装置12的底部设计为斜坡16的形式,其目的是方便溶解液顺着斜坡16流到装置12的底部,装置12的底部设有排液口23,该排液口23与排液管道13连接,溶解液顺着该排液管道13被排到外部;因为溶解液一般是比较稠的,仅在重力的作用下其流动的速度一般很慢,再加上稀释剂易挥发,所以需要快速处理溶解液,否则溶解液就会凝固在管道内,使管道堵塞,出于上述目的,在装置12的上部另一侧设有真空口24,该真空口24与真空管道14连接,采用真空泵在装置12内的排液空腔10中加以真空,在强力的真空作用下,整个管道形成真空状态,利用真空状态的吸附力,可大大提高溶解液的流动速度,真空泵没有设置在排液管道13上是为了防止PR胶进入真空泵及真空管道14,真空管道14与装置12的上部的真空口24连接,排液管道13与装置12的底部的排液口23连接也正是为了防止PR胶进入真空泵,因为真空管道14在上部只能把气体吸入,而液体在重力的作用下只能在装置12的底部流动;但是,因为稀释剂易挥发,挥发的同时也会携带PR胶,这种携带有PR胶的气体状溶解液,进入真空管道14也能使真空管道14堵塞,所以在排液空腔10中,接入管道11和真空管道14之间设有一个挡片15,其目的是阻挡气体状溶解液进入真空管道14。
上述现有技术中处理废弃PR胶的装置存在以下缺点:因为气体状溶解液的流动性比较强,而且在装置12的底部,排液口23附近也会挥发该气体状溶解液,一个挡片不能完全阻挡气体状的溶解液进入真空管道14,还有很大一部分会进入真空管道14,经过长时间的使用,真空管道14也易堵塞,导致该装置12不能正常使用。
实用新型内容
本实用新型的目的是在于通过在处理废弃PR胶的装置内排液空腔的适当位置设置挡片,把气体状溶解液经过的路线与真空口隔离开,防止气体状溶解液进入真空管道里,从而解决真空管道堵塞,该装置不能正常工作的问题。
为了实现上述目的,本实用新型提供了一种处理废弃PR胶的装置,包括排液空腔、排液斜坡、接入口、真空口、排液口以及设置在所述排液空腔内的挡片,所述的挡片为一个以上。
上述技术方案中所述挡片可以设置在排液空腔的内壁上,各个挡片在排液空腔内壁的位置不是绝对的,凡是在相应位置范围内设置的挡片,用以防止接入口与真空口之间形成流动的气体状溶解液气流,均为本实用新型所要保护的范围。
上述技术方案中所述挡片朝向所述排液空腔内壁的方向与所述挡片周围气体状溶解液气流方向可以成一锐角或直角,该角度也不是绝对的,凡是在相应角度范围内设置的挡片,用以防止接入口与真空口之间形成流动的气体状溶解液气流,均为本实用新型所要保护的范围。
因此,本实用新型处理废弃PR胶的装置具有以下优点:由于设置了一个以上的挡片,使气体状溶解液在接入口与真空口之间不能形成气流,有效的防止气体状溶解液进入真空管道,解决了真空管道易堵塞的问题。
附图说明
图1为本实用新型一实施例中旋转涂胶单元排液管道与处理废弃PR胶装置的连接示意图;
图2为本实用新型一实施例中处理废弃PR胶的装置的结构示意图;
图3为现有技术中处理废弃PR胶的装置的结构示意图。
具体实施方式
下面通过附图和实施例,对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
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