[实用新型]处理废弃光刻胶的装置无效
| 申请号： | 200720149142.X | 申请日： | 2007-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN201035319Y | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 朴成哲;黄福林 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100176北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 废弃 光刻 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种处理废弃光刻胶的装置，包括排液空腔、排液斜坡、接入口、真空口、排液口以及设置在所述排液空腔内的挡片，其特征在于，所述的挡片为一个以上。
2.根据权利要求1所述的处理废弃光刻胶的装置，其特征在于，所述挡片设置在所述排液空腔的接入口附近。
3.根据权利要求1所述的处理废弃光刻胶的装置，其特征在于，所述挡片设置在所述排液空腔的排液口附近。
4.根据权利要求1所述的处理废弃光刻胶的装置，其特征在于，所述挡片设置在所述排液空腔的真空口附近。
5.根据权利要求1所述的处理废弃光刻胶的装置，其特征在于，所述挡片朝向所述排液空腔内壁的方向与所述挡片周围气体状溶解液气流方向成一锐角或直角。
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