[实用新型]制程设备气流多段循环系统

权利要求书

1.一种制程设备气流多段循环系统，其内设有一处理区；其特征在于：所述处理区内设有至少一出气部及至少一吸气部，所述出气部延伸有多个出气支部分布在处理区内，而吸气部延伸有多个吸气支部分布在处理区内；所述出气支部上设有多个出气孔，而所述吸气支部上设有多个吸气孔，且出气部的出气支部与吸气部的吸气支部相互间隔设置。

2.如权利要求1所述的制程设备气流多段循环系统，其特征在于：所述多个出气孔大小不同。

3.如权利要求1所述的制程设备气流多段循环系统，其特征在于：所述多个吸气孔大小不同。

4.如权利要求2所述的制程设备气流多段循环系统，其特征在于：所述出气孔与吸气孔大小不同。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的制程设备气流多段循环系统，其特征在于：所述出气孔为孔方向能调整的出气孔。

6.如权利要求1至4中任意一项所述的制程设备气流多段循环系统，其特征在于：所述吸气孔为孔方向能调整的吸气孔。

7.如权利要求1至4中任意一项所述的制程设备气流多段循环系统，其特征在于：所述吸气孔为孔方向能调整的吸气孔，所述出气孔为孔方向能调整的出气孔。

8.如权利要求1至4中任意一项所述的制程设备气流多段循环系统，其特征在于：所述制程设备为一紫外线多层炉。

9.如权利要求1至4中任意一项所述的制程设备气流多段循环系统，其特征在于：所述出气支部或吸气支部的管径渐缩。