[实用新型]发光二极管金属电极的制造装置无效
| 申请号： | 200720142918.5 | 申请日： | 2007-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN201060877Y | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 江守权;余佳骏;李欣仪;盛约瑟;曾淑靖 | 申请（专利权）人： | 曜富科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/285;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 中国台湾苗*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 发光二极管 金属电极 制造 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种发光二极管金属电极的制造装置，其特征在于，装设在一反应室中的蒸镀盘上，所述制造装置包括：
一载具，上方可供承载一芯片；
一磁性组件，位于所述载具底部；以及
一磁性光罩，设置在所述芯片上，以利用所述载具底部的磁性组件吸附所述磁性光罩，并同时将所述芯片固定在载具上。
2.如权利要求1所述发光二极管金属电极的制造装置，其特征在于，所述磁性光罩为一具有磁性的不锈钢软性薄膜。
3.如权利要求1所述发光二极管金属电极的制造装置，其特征在于，所述磁性光罩的厚度介于10～300微米之间。
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