[实用新型]基板取放设备

权利要求书

1、一种基板取放设备，其包括：具有取件区和退件区的基板工作站、用于在所述的取件区和退件区取放基板的取退件装置，其特征在于：所述的取退件装置包括：

主滑轨，所述的主滑轨固定设置在所述的基板工作站中；

滑座，所述的滑座滑动配合设置在所述的主滑轨上；

伸缩轴，所述的伸缩轴设置在所述的滑座上；

转动座，所述的转动座设置在所述的伸缩轴远离所述的滑座的一端部上；

一对副滑轨，所述的一对副滑轨分别固定连接在所述的转动座上，并且所述的一对副滑轨之间具有设定角度；

以及，一对用于承载基板的托架，所述的一对托架分别可滑动地设置在所述的一对副滑轨上。

2、根据权利要求1所述的基板取放设备，其特征是：所述的主滑轨架设在所述的取件区与所述的退件区之间，并且所述的取件区与所述的退件区之间设置有至少一个工作区。

3、根据权利要求1所述的基板取放设备，其特征是：所述的伸缩轴包括外套管、滑动地设置在所述的外套管内的内套管、设置在所述的内套管与所述的外套管之间的动力压缸组成，所述的外套管以及所述的动力压缸的缸体固定连接在所述的滑座上，所述的动力压缸的活塞杆固定连接在所述的内套管上，所述的转动座固定设置在所述的内套管上。

4、根据权利要求1所述的基板取放设备，其特征是：所述的一对托架与一对副滑轨之间分别设置有带动所述的托架沿所述的副滑轨移动的动力元件。

5、根据权利要求4所述的基板取放设备，其特征是：所述的动力元件为气缸。

6、根据权利要求1所述的基板取放设备，其特征是：所述的一对副滑轨之间的夹角为90度。