[实用新型]用于分子泵的涡轮叶片

权利要求书

1.一种用于分子泵的涡轮叶片，其特征在于：

所述的涡轮叶片的整体轮廓为圆盘状，在其中央部位为开有安装孔的圆盘，在所述的圆盘的周围开有叶齿，所述的叶齿在径向沿圆周均布。

2.根据权利要求1所述的用于分子泵的涡轮叶片，其特征在于：

所述的叶齿为台阶式变截面叶齿。

3.根据权利要求2所述的用于分子泵的涡轮叶片，其特征在于：

所述的台阶式变截面叶齿与所述的圆盘形成倾斜角。

4.根据权利要求3所述的用于分子泵的涡轮叶片，其特征在于：

所述的台阶式变截面叶齿与所述的圆盘形成的倾斜角为30度。

5.根据权利要求3所述的用于分子泵的涡轮叶片，其特征在于：

所述的台阶式变截面叶齿与所述的圆盘形成的倾斜角为15度。

6.根据权利要求2所述的用于分子泵的涡轮叶片，其特征在于：

所述的台阶式变截面叶齿的台阶数≥2道，所述的台阶式变截面叶齿的台阶面为弧面(1)，台阶根部(2)为倒角或圆弧过渡。

7.根据权利要求6所述的用于分子泵的涡轮叶片，其特征在于：

所述的弧面(1)其半径为8-15cm。

8.根据权利要求4或7所述的用于分子泵的涡轮叶片，其特征在于：

所述的台阶式变截面叶齿的台阶数为4道，叶齿的厚度由外向里依次为：0.1cm、0.2cm、0.3cm、0.4cm，每道台阶长度均为2.5cm，台阶根部(2)倒角0.05cm。